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在〈100〉晶向硅片上通过各向异性腐蚀形成作为模板的倒金字塔形尖坑, 用LPCVD和PECVD法淀积一层约 1 μm厚的氮化硅膜, 通过等离子刻蚀形成悬臂梁图形,再把抛光玻璃片静电键合到氮化硅膜上, 最后把衬底硅片腐蚀掉,带有金字塔形针尖的悬臂梁就暴露出来,从而构成可用于原子力显微镜(AFM)描绘纳米图像的氮化硅纳米探针.对针尖的尖度和氮化硅膜悬臂梁的热应力补偿进行了深入研讨, 并报道一种特殊而有效的悬臂梁掩模板图形的新设计.制成的氮化硅纳米探针在原子力显微镜上成功地描绘出了纳米图像, 经检测, 其 Z向偏转检测精度优于10-9量级. 相似文献
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新流量阀与PLC控制新回路及其应用 总被引:1,自引:0,他引:1
在已有液压回路的基础上,提出了一种新的、用于实现动力滑台运动的二工进调速阀的两工进速度换接回路,给出了其组成图和工作原理.采用FX2N-32MR型PLC设计了其控制系统,得出了新回路及其控制系统的特点,展现了PLC在工业控制领域的广阔应用前景.并介绍了新回路在机械加工中的应用. 相似文献
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介绍了250A IGBT逆变式手弧、TIG两用焊机主电路的工作原理及对IGBT工作状态的改善。文中还介绍了高频脉冲引弧电路的工作原理和TIG焊时该机的控制过程。 相似文献
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逆变弧焊机中IGBT的防护 总被引:2,自引:0,他引:2
本文介绍了IGBT逆变弧焊机中的过电压、过电流保护电路,包括外部过电压、内部过电压、输出过电流和IGBT器件过电流的防护措施。文中还就驱动电路的应用进行了讨论,以提高IGBT器件的使用可靠性。 相似文献
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新型扩散硅低压传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍一种采用矩形双岛硅膜结构,量程为6kPa的扩散硅低压传感器。该传感器具有非线性内补偿和20倍量程以上的过压保护功能。着重介绍了该产品的设计、芯片制造与封装工艺、温度系数补偿办法和传感器技术性能的测试结果。 相似文献
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扩散硅压力传感器性能优化研究 总被引:4,自引:1,他引:4
本文论述了实现扩散硅压力传感器性能优化的一些技术措施、设计原理和工艺技术.采用矩形双岛硅膜结构等新型微机械结构可提高灵敏度和精度并实现过压保护;通过改善工艺并进行表面钝化、改进封装工艺与结构等可改善稳定性;用恒压源及三极管补偿法和等效电阻最佳耦合法可对其灵敏度、零位温度系数进行补偿;采用各向异性腐蚀工艺技术可实现集成化生产. 相似文献
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在分析现有JSS35型机器人液压系统的基础上,提出了一种新回路.在新回路中只用了3个安全阀取代了已有回路中的6个安全阀.文中简要介绍了JSS35型机器人液压系统新回路的来源、组成、原理和特点. 相似文献