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反应溅射制备AlN薄膜中沉积速率的研究 总被引:14,自引:2,他引:14
通过对浅射过程中辉光放电现象及薄膜沉积速率的研究,发现随着氮浓度的增大,靶面上形成一层不稳定的AlN层,由于AlN的溅射速率远小于Al,从而使薄膜的沉积速率显著下降。同时还研究了其它溅射参数对薄膜沉积速率的影响。结果表明:随靶基距的增大靶功率的减小,不同程度引起沉积速率的下降;随着溅射气压的增大,最初沉积速率不断增大,当溅射气压增大到一定程度时,沉积速率达到最大值,之后随溅射气 压的增大,又不断减小。 相似文献
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许小红 《Canadian Metallurgical Quarterly》2011,2(4)
交感神经型颈椎病是一种临床上较为少见的颈椎病之一,但是一旦患上交感神经型颈椎病,其诸多的临床不适就会给患者造成极大的生理及精神上的痛苦,特别是随着社会的发展,生活、工作节奏的加快,生理心理压力增大,再加上电脑、网络的兴起,长时间的低头伏案工作学习的人员增多,颈椎过度使用导致疲劳损伤的可能增大,加上可能的外伤因素,使交感神经型颈椎病的发生几率上升.针刺结合利美达松注射液穴位注射疗法是我在临床工作中总结的一种确实可行的治疗方法,实际应用起来也简单易行,可操作性强,安全性高,患者易于接受.笔者自2008年3月以来采用针刺结合利美达松注射液穴位注射治疗交感神经型颈椎病47例,取得很好的疗效,现报道如下. 相似文献
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为了考察类芬顿铁基双金属催化剂催化过硫酸盐降解污染物的效能,以苯胺作为目标污染物,研究了催化剂质量浓度、过硫酸钠质量浓度、pH值和反应时间等因素对苯胺降解的影响规律,并利用紫外光谱检测苯胺降解中特征峰的变化,初步探讨苯胺降解机理。试验结果表明,苯胺去除率随着氧化剂和催化剂质量浓度的增加而提高;随着反应时间的延长而提高;随着pH值增加先增大后减小,并在pH=6时去除率最佳。对比苯胺降解前后的紫外光谱图可知,降解之后的苯胺在波长为545 nm处的特征吸收峰几乎消失,说明苯胺基本降解完全,最终转化为小分子物质CO_2和H_2O。当催化剂质量浓度为0.1 g/L,氧化剂质量浓度为0.1 g/L,pH=6,反应时间达到20 min时,5 mg/L的苯胺废水经过催化氧化后质量浓度低于0.03 mg/L,达到国家标准规定的苯胺排放值以下。 相似文献
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采用7407型振动样品磁强计(VibratingSampleMagnetometer)对(FePt/C)10磁记录多层膜的磁学性质进行了测量,包括磁滞回线、直流退磁曲线(DCD)、等温剩磁曲线(IRM)及磁化强度与时间(M-t)的关系。通过磁滞回线可直接得到Hc、Mr、Ms、S*、Mr/Ms、SFD等宏观磁学性能参数;由DCD和IRM得到的δM曲线可用来研究晶粒间交换耦合作用;磁反转体积(Va)的计算通过DCD、M-t实验可实现,由此可以确定磁记录介质的热稳定性。 相似文献
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[FePt/C]n多层膜的结构和磁学性能 总被引:1,自引:1,他引:1
采用磁控溅射方法制备FePt(50nm)和[FePt(2nm,3nm,5nm)/C(1nm)]。膜,并在550℃退火30min,研究了周期数(n)对FePt/C系列多层膜结构及磁学性能的影响。结果表明:退火后多层膜的矫顽力在总膜层厚度约为30nm时出现最大值;随着n的增大,多层膜的饱和磁化强度和晶粒尺寸均不断增大;C的加入可以有效降低晶粒间交换耦合作用。刚此可以通过控制周期数得到县仃合适的微观结构和高的磁学性能的FePt/C多层膜,从而满足超高密度磁记录介质的要求。 相似文献
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