等离子体横向刻蚀硅的特性研究

研究了用SiO2 +Al作掩模 ,SF6 +O2 混合气体等离子体对Si的横向刻蚀 ,其结果表明 ,在SF6 +O2 等离子体气氛中 ,Al是很好的保护膜 ,可以在待悬浮器件下形成大的开孔。因此 ,预计用这种技术 ,可以在Si片上集成横向尺寸为数百微米 ,具有优良高频性能的MEMSRF/MW无源器件 ,如开关、传输线、电感和电容等。     

自行封装的烟草打包装置机械式均载控制技术

为了合理控制烟草打包装置电机的驱动轴扭矩与负载扭矩,提出自行封装的烟草打包装置机械式均载控制技术。设计自行封装的烟草打包装置,在该装置内搭建压紧平台以及压紧面板,使烟草打包密度更高;采用PLC同步控制系统控制装置的打包过程,实现烟草打包装置自行封装;根据力学中的定轴转动原理,分析烟草打包装置电机齿轮在转动时产生的均载冲击,并采用基于幂函数速度曲线的启停速度算法,控制启动与制动状态下的烟草打包装置电机受到的均载冲击,实现装置机械式均载控制。经实验验证,应用该技术后,停机次数较少,且有效控制电机的驱动轴扭矩与负载扭矩,提升烟草打包密度与产量。     

一种能提高DRC友好性和CMP形貌的冗余金属填充方法

化学机械研磨(CMP)被广泛用于铜镶嵌工艺,研磨后铜的厚度和表面形貌对65纳米以下的工艺显得越来越重要,厚度和形貌的变动会对芯片良率和性能造成恶劣影响,所以必须在设计时就进行慎重的考虑。众所周知,插入冗余金属是提升CMP形貌的一个好方法,通常基于规则的方法广泛用于65纳米及以上工艺中,但是该技术在比较先进制程中显示不出其优越性。本文阐述了一种基于模型的冗余金属填充方法,它是根据设计版图中的周围环境用计算机算法来填充。这一方法的优点有以下几方面:在设计规则检查(DRC)中更少的违规数量,更密集的图形密度分布和更少的填充图案数量,更小的密度和周长梯度。在使用40纳米工艺的晶圆上,基于模型方法得到的表面平坦度与基于规则的填充方法相当,但是比公开的其它填充方法要好。     

单片Si-FED的结构和设计

根据场发射显示器（ＦＥＤ）的工作原理和所要求的电学参数,利用常规的硅半导体工艺和微机械加工技术,设计和试制了显示面积为１０．８ｍｍ×１０．８ｍｍ的研究性器件。版图设计中采用了离子注入法形成导电网络结构和横向负反馈电阻。工艺流程采用了全干法两步刻蚀和热氧化增尖形成理想硅微尖锥的方案。硅场发射冷阴极阵列（Ｓｉ－ＦＥＣＡ）是ＦＥＤ的核心。     

氧化锌避雷器带电测量误差分析

分析氧化锌避雷器带电测量结果存在误差的原因,提出采用相角补偿法来修正测量结果。通过具体算例证明相角补偿法可以提高氧化锌避雷器带电测量的准确率。     

LC-MS/MS法测定吸烟者和被动吸烟者尿液中的烟碱及其代谢物

以烟碱-d3、可替宁-d3、反3'-羟基可替宁-d3作内标,XDB C18柱作色谱柱,10 mmol/L(pH6.8)乙酸铵水溶液和无水甲醇为流动相,梯度洗脱,流速1 mL/min,采用LC-MS/MS法同时测定了10名吸烟者和5名被动吸烟者尿液中烟碱及其糖苷、可替宁及其糖苷、反3'-羟基可替宁及其糖苷、降烟碱、降可替宁、可替宁氮氧化物和烟碱氮氧化物.结果表明:①烟碱及其代谢物的精密度在2.1%～17.0%之间,回收率在78%～116%之间;②日抽吸20支相同品牌卷烟的吸烟者尿液中烟碱及其9种代谢物的含量差异较大;③被动吸烟者尿液中都检测出烟碱、可替宁、反3'-羟基可替宁,部分检出可替宁糖苷、降烟碱、烟碱氮氧化物,且前3种物质的浓度略高于后3种,但都远远低于吸烟者.烟碱、可替宁、反3'-羟基可替宁有可能作为人体尿液中被动吸烟的生物标记物.     

600MW机组高中压缸可调式布莱登汽封应用

论述汽轮机可调式布莱登汽封的工作原理及其结构、改造内容和技术要求,以及改造所解决的问题和效果。     

探地雷达在隧道衬砌质量检测中的应用

受诸多因素影响,隧道衬砌混凝土可能会出现不够密实、不够厚等工程质量问题。为了及时发现隧道衬砌砼的质量问题,可利用具有快速高效、分辨率高的地质雷达法沿测线扫描检测。探地雷达因其高精度的分辨率,快速的检测方法而迅速的在各个工程行业得到了推广。针对实际隧道工程地质雷达的应用及其原理的论述。为类似的工程检测提供一个实用的参考及借鉴。     

基于锁相环技术的直流电机调速控制

提出一种基于锁相环的直流电机调速控制系统,通过光学转速仪实现对电机转子相位的锁相控制,并给出了电路参数的计算方法.     

永磁式直流无刷电动机数字控制

永磁式直流无刷电动机控制电路,采用常用数字电路实现无刷电动机控制所需要各种逻辑运算,产生三相逻辑驱动信号,通过六只功率场效应管完成无刷电动机电子换向功能,完成直流无刷电机调速、附加过压、欠压及过流保护。