氟硅酸盐制取四氟化硅的研究进展

SiF4多被应用于电子行业和半导体行业,氟硅酸盐制备SiF4是制备方法中的一种.本文介绍了氟硅酸盐的性质,制备方法,以及氟硅酸盐制备SiF4的方法,并对部分氟硅酸盐制备SiF4的条件及产物进行了对比.     

特殊电子气-四氟化硅分析检测

四氟化硅是一种重要的特殊电子气体,可用于电子和半导体行业,高纯度的四氟化硅还可作为非晶体硅、硅烷、多晶体硅、光纤等制备的原料,文章介绍了四氟化硅气体中气体杂质、金属杂质及碘的分析检测方法,初步确定了四氟化硅气体中的杂质分析。