十二工位超洁净全自动超声波清洗机设计、研制与应用

论述了一种新型全自动超声波清洗机的的工作原理及实际应用。该清洗机综合运用了当今国际最前沿最先进的清洗理念及技术,清洗后产品的洁净度可达0．25μm。本设备是铬版制作中掩膜抛光后的高洁净度的清洗设备。该产品可以应用于同行业不同的工序或其他行业要求高精度清洗工序中。