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<正> 近几年来,在绝缘体上进行外延硅层生长得到了很大的重视.其中以蓝宝石和尖晶石为基体的外延硅层研究得较多,因为这种外延层较薄(典型值~1μm),基体绝缘性好,耐辐照性能强;用这样的材料做MOS集成电路,具有高频性能好、耐辐照的优点,特别适用于宇航环境.但这种外延层(称异质外延)不容易做得好,这种外延层中往往存在着大量堆垛缺陷和孪晶薄层.在实践中,人们常需采用各种有效的实验手段来测试外延层的质量,以研究工艺过程中有关条件对质量的影响,从而选择最佳的工艺条件. 相似文献
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本文报道了用低能大面积电子束处理注砷硅片的实验结果。由四探针和背散射、沟道效应测量结果表明,用本方法退火的样品具有电激活率高和砷原子再分布小的优点。 相似文献
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质子激发X荧光技术在中国古玻璃成分分析中的应用 总被引:9,自引:3,他引:9
化学成分分析是中国古玻璃研究中一个重要方面,可以为研究中国古玻璃的起源和技术发展等提供科学的依据,有必要发展新的测试方法。质子激发X荧光(proton induced X—ray emission,PIXE)技术是一种高灵敏度、非破坏性、多元素定量测定的分析方法。概要介绍了PIXE分析的原理、特点,相关的设备和分析过程,列举了外束PIXE技术应用于中国战国、西汉古玻璃样品分析的一些实例。PIXE分析技术在古玻璃样品特别是整形器皿的成分分析中具有广阔的应用前景。 相似文献
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汝官瓷和钧官瓷的主成分鉴别 总被引:1,自引:0,他引:1
为了解多种釉色汝官瓷和钧官瓷的原料来源、成分和分类关系,正确鉴别两窑瓷器,选取汝官瓷样品34个、钧官瓷样品50个,由质子激发X射线荧光分析测定了样品的化学组分.将所有样品的7种主成分数据进行统计分析,得到以下分析结果:汝官瓷胎的Al2O3平均含量明显高于钧官瓷胎的,而CaO,TiO2的平均含量比钧官瓷胎的略高;汝官瓷胎的SiO2,Fe2O3,K2O平均含量明显低于钧官瓷胎的,而MnO平均含量比钧官瓷胎的稍低.汝官瓷釉的Al2O3,CaO平均含量明显高于钧官瓷釉的,而K2O,MnO的平均含量比钧官瓷釉的略高;汝官瓷釉的SiO2平均含量明显低于钧官瓷釉的,而TiO2,Fe2O3平均含量比钧官瓷釉的稍低,即汝官瓷釉和钧官瓷釉的主成分平均值是不相同的.模糊聚类分析表明:多数汝官瓷胎、钧官瓷胎样品的原料产地和成分接近但有所不同,汝官瓷釉和钧官瓷釉的原料产地和配方则明显不同.从主量化学组成上可以较好的区分汝官瓷釉和钧官瓷釉样品. 相似文献
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江西湖田窑明代青花瓷的PIXE研究 总被引:3,自引:0,他引:3
用现代科学技术对中国古瓷的产地、年代和真伪进行研究一直是文博界和科技界研究的热点.本工作采用质子激发X射线发射(PIXE)分析方法研究了江西湖田窑明代中晚期青花瓷的胎、釉和青花中主量、微量元素的含量,并用质子扫描微探针(SPM)分析了青花瓷剖面的元素分布.结果表明元素在古瓷的釉、胎和青花中的分布都是均匀的;胎与青花之间有5~10 μm的中间层,青花与白釉之间无明显的分界线;制作青花的钴料可能产于江西、福建等地. 相似文献