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采用射频反应磁控溅射法在硬质合金衬底上沉积了CNx薄膜和CNx/TIN复合薄膜.薄膜的结构和元素成分用傅里叶变换红外光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)测试.红外吸收光谱说明薄膜中碳、氮原子结合成的化学键有C-N,C=N和CIN,另外还存在少量的N-H和C-H键;X射线光电子能谱分析证明沉积中间层Tin的样品结合能位移增大,其中氮碳原子成键多,从而提高了样品的耐磨性能. 相似文献
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采用直流与射频磁控反应溅射法在硬质合金YG8衬底上制备了氮化碳(carbon nitride,CNx)薄膜。研究了溅射方式、衬底腐蚀处理对薄膜摩擦学性能的影响。结果表明:射频反应磁控溅射制备的CNx薄膜的膜基结合力和摩擦因数明显高于直流反应磁控溅射薄膜的,适当的负偏压可以提高膜基结合力。衬底化学腐蚀预处理能够大幅度提高CNx薄膜的膜基结合力,对直流溅射CNx薄膜的摩擦因数影响不大,但能降低射频溅射CNx薄膜的摩擦因数。射频反应磁控溅射法制备的CNx薄膜比直流溅射法制备的CNx薄膜耐磨性能好。衬底化学腐蚀预处理和溅射时对衬底施加适当的负偏压均有利于耐磨性能的提高。 相似文献
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采用溶胶-粉末混合挤出法制备Pb(zr,Ti)O3压电陶瓷纤维.研究了PZT纤维制备的合理条件,如溶胶粘度的调整,粉末和溶胶的混合比例及烧结温度等.在溶胶和粉末的摩尔比为1:7时能成功地挤出直径为500μm的纤维生坯.研究了不同烧结温度下的纤维密度、收缩率及显微结构,并将纤维与环氧复合制备1-3型复合材料,研究复合材料的介电及压电性能.结果表明,在1240℃下烧结纤维及复合材料表现出更好的性能. 相似文献
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