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EvaluationofMeasuringUncertaintyoftheAutomaticInstrumentforMeasuringLengthGratingsandLineStandardsupto2m(2)RenDongmei;NiuLixin;WangXiaowie;QiAihui;CaoHang上接1998年第18卷第3期第26页3测量光栅尺的合成标准不确定度本仪器测量光栅尺时,采用双干涉光路测量方法,其测长公式为l一(11+12)/2(18)l。一n。·A/2一人·入/64(i—l,2)(19)式中,l——测量长度;l。——干涉光路i测得的长度值;n。——干涉光路i中干涉条纹的变化数;k。——干涉光路i的计数脉冲数。由仪器的工作原理可知,11、人相关,根据不确… 相似文献
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采用基于透镜-反射镜式逆反射光路的干涉仪进行微位移测量时,被测位移会引起测量光束的波面变化。本文对这种波面变化和其对位移测量结果的影响进行了分析,推导出了波面变化引起的位移测量误差与透镜的焦距/有效孔径之比和位移的近似关系。对合理使用基于透镜-反射镜的逆反射方法,发挥其在干涉微位移测量中的优势,避免其不足,具有指导作用。 相似文献
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以不确定度的概念对两米光栅-线纹自动测量仪的测量质量,水平进行了评定,给出了该仪器测量光栅尺和线纹尺的不确定度指标。 相似文献
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