全文获取类型
收费全文 | 96篇 |
免费 | 11篇 |
国内免费 | 2篇 |
学科分类
工业技术 | 109篇 |
出版年
2024年 | 1篇 |
2023年 | 2篇 |
2022年 | 7篇 |
2021年 | 6篇 |
2020年 | 2篇 |
2019年 | 1篇 |
2018年 | 4篇 |
2017年 | 4篇 |
2015年 | 4篇 |
2014年 | 3篇 |
2013年 | 8篇 |
2012年 | 4篇 |
2011年 | 10篇 |
2010年 | 4篇 |
2009年 | 5篇 |
2008年 | 2篇 |
2007年 | 3篇 |
2006年 | 7篇 |
2005年 | 7篇 |
2004年 | 5篇 |
2003年 | 3篇 |
2002年 | 1篇 |
2000年 | 4篇 |
1999年 | 7篇 |
1998年 | 1篇 |
1997年 | 2篇 |
1992年 | 1篇 |
1991年 | 1篇 |
排序方式: 共有109条查询结果,搜索用时 31 毫秒
1.
目的 化学机械抛光(CMP)包含化学腐蚀和机械磨削两方面,抛光液pH、磨粒粒径和浓度等因素均会不同程度地影响其化学腐蚀和机械磨削能力,从而影响抛光效果。方法 采用30~150 nm连续粒径磨粒抛光液、120 nm均一粒径磨粒抛光液、50 nm和120 nm配制而成的混合粒径磨粒抛光液,分别对蓝宝石衬底晶圆进行循环CMP实验,研究CMP过程中抛光液体系的变化。结果 连续粒径磨粒抛光液中磨粒大规模团聚,满足高材料去除率的抛光时间仅有4 h,抛光后的晶圆表面粗糙度为0.665 nm;均一粒径磨粒抛光液中磨粒稳定,无团聚现象,抛光9 h内材料去除率较连续粒径磨粒抛光液高94.7%,能至少维持高材料去除率18 h,抛光后的晶圆表面粗糙度为0.204 nm;混合粒径磨粒抛光液初始状态下磨粒稳定性较高,抛光9 h内材料去除率较连续粒径磨粒抛光液高114.8%,之后磨粒出现小规模团聚现象,后9 h材料去除率仅为均一粒径磨粒抛光液的59.6%,18 h内材料去除率仅为均一粒径磨粒抛光液的87.7%,但抛光后的晶圆表面粗糙度为0.151 nm。结论 一定时间内追求较高的材料去除率和较好的晶圆表面粗糙度选用混合粒径磨粒抛光液,但需要长时间CMP使用均一粒径磨粒抛光液更适合,因此,在工业生产中需要根据生产要求配合使用混合粒径磨粒抛光液和均一粒径磨粒抛光液。 相似文献
2.
采用高分辨率电感耦合等离子质谱(ICP-MS)、X射线荧光光谱(XRF)以及X射线衍射(XRD)等技术分析煤中微量元素、常量元素含量以及矿物成分。结果表明:辰溪晚二叠世高有机硫煤高度富集铀(75.20 μg/g)、铬(407.75 μg/g)、镉(5.01 μg/g)、钒(296.30 μg/g)和钼(23.19 μg/g)等微量元素,分别是世界煤均值的31.3,25.5,22.8,11.9,10.5倍。高硫、多铁、多黏土矿物的海陆过渡环境是造成辰溪等地高有机硫煤中高度富集U,V,Cr,Mo等元素的原因。U,Mo的富集与有机质、硫、铁和微生物有关,V,Cr的富集与黏土矿物相关;微量元素与有机质、硫以及与分散矿物之间的耦合作用,涉及多种复杂地球化学过程,是导致煤中这几种元素赋存状态复杂的根本原因,也是硫在煤中富集的重要原因。 相似文献
3.
本文探讨并解决了基于ArcGIS构建校园三维漫游场景时的关键技术和问题,其中包括碰撞检测算法、漫游算法、空间测量算法,模型的优化,以及模型导入时的相关问题。在此基础上,实现了长春理工大学南区的三维漫游系统。 相似文献
4.
目的 分析2021年中国大陆食源性疾病暴发事件的流行病学特征,为制定预防措施提供依据。方法对我国食源性疾病暴发监测系统收集的2021年食源性疾病暴发数据的流行病学特征进行描述性统计学分析。结果 2021年,30个省(自治区、直辖市)和新疆生产建设兵团(除西藏自治区)共上报食源性疾病暴发事件数5 493起,累计发病32 334人,死亡117人。在病因明确的3 275起事件中,毒蘑菇导致的事件数和死亡人数最多,分别占49.13%(1 609/3 275)和67.86%(76/112);微生物性致病因子导致的发病人数最多,占53.05%(11 585/21 839);在食源性疾病暴发的场所中,家庭的事件数和死亡人数最多,分别占54.00%(2 966/5 493)和92.31%(108/117);餐饮服务场所的发病人数最多,占65.59%(21 208/32 334)。结论 家庭是毒蘑菇死亡事件发生最多的场所;微生物性致病因子是餐馆和学校食堂的主要致病因素。建议各地根据不同类别食源性疾病暴发事件的发生特点,在高发季节、高发地区、重点场所做好监测预警、食品安全监管、健康教育和医疗救治等工作。 相似文献
5.
本文介绍了高职高专院校的电气自动化专业教材建设的存在的问题,我校电气自动化专业教材建设的研究思路及具体落实措施。我校电气自动化专业教材体现出的“地方”特色等。 相似文献
6.
7.
景观设计理念在居住区中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
环境景观在居住区中发挥着重要的作用.城市人大约有2/3的时间花费在居住区中.居住区环境景观质量直接影响到人们的心理、生理及精神生活。在人们活动的步行道、广场、休息观景的空间中,创造性地设计能赋予空间一定的特色,给人留下深刻的印象。 相似文献
8.
蓝宝石衬底片化学机械抛光的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为了提高蓝宝石化学机械抛光(CMP)效果,对其抛光工艺进行了研究。采用SiO2磨料对蓝宝石衬底片进行抛光,分析了抛光时的温度、pH条件、磨料粒径及浓度,结果表明,采用80nm大粒径、高浓度的SiO2磨料,既可以保证抛光速率,又能得到良好的表面状;当pH值在10~12时,可加速蓝宝石在碱性条件下的化学反应速率,从而提高抛光速率;在30℃时,能较好地平衡化学作用与机械作用,获得平滑表面;加入适量添加剂,可增大反应产物的体积,易于提高机械作用的效果,以获得较高的去除速率。 相似文献
9.
10.
为了确保压力容器的安全运行,除正确选择材料外,合理进行热处理工艺,掌握金属材料热处理的基本知识,对于提高压力容器产品质量、改善工艺性能、充分发挥材料的性能潜力都是十分重要的。通过对热处理的基本知识的了解并结合应用实例,对相图在压力容器用钢热处理中的应用进行了分析和讨论。 相似文献