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透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究 总被引:3,自引:0,他引:3
为了对比研究不同透明衬底上ZnO:Al(ZAO)薄膜的性能,采用直流反应溅射法制备薄膜,并对其作EDS、XRD和电学测试分析.结果表明:所制备的ZAO薄膜具有典型的ZnO晶体结构;沉积在玻璃基片上的ZAO薄膜,Al,O含量高于沉积在透明聚酯塑料基片上的,而Zn的含量则相反;在两种衬底上获得的ZAO薄膜电阻率分别为4.5×10-4Ω*cm和9.73×10-4Ω*cm,可见光透射率分别达到87.7%和81.5%.由此可见:用直流反应磁控溅射法在不同衬底上都能获得可见光透射率达到80%以上的ZAO薄膜;相比而言,在玻璃衬底上获得的ZAO薄膜电阻率低,而在透明聚酯塑料上沉积的ZAO薄膜透射性好. 相似文献
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用直流反应磁控溅射法制备ZAO纳米薄膜 ,对这种薄膜进行了XRD分析 ,并对其光、电性能作了详细的研究。结果表明 :ZAO薄膜的结构为标准的ZnO纤锌矿相 ,没有Al2 O3 相出现 ;其最低电阻率为 4 5× 10 -4Ω·cm、可见光透射率在 80 %以上 ,红外波段的反射率达 70 %以上 ,是优质的透明导电膜 相似文献
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低温液体泵在正常运行中,常见的故障主要有2点:一是汽蚀,二是密封处泄漏。为了保证低温液体泵能长期安全稳定运行,现将这2点产生的原因及预防措施,进行详细的分析,希望能对同行们的实际操作有所帮助。 相似文献
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<正> 调整,是当前和今后一个时期我国经济工作的首要任务。城市规划是国民经济工作的一个组成部分,城市规划工作也必须认真贯彻调整方针。 有人说,工业不大上了,城市规划可以松口气了。其实不然,应该说,在调整期间,正好利用时机,多作调查研究,把城市规划搞得更加科学合理。而且,随着工业以及“骨头”和 相似文献
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数控机床热误差的时序分析法建模及其应用 总被引:6,自引:4,他引:6
提出了采用时间序列分析法进行机床热误差建模的基本原理及方法,及其在数控机床热误差补偿建模中的应用。利用实测的热误差序列进行时序分析识模、建模和预报。再通过由微机结合机床控制器构成的补偿系统,利用所建立的时序分析模型,经过微机算出补偿值并送入机床控制器对刀架进行附加进给运动完成实时补偿。实验结果表明,可将工件的尺寸变化从原来的25 μm以上降到10 μm以内,大幅度提高了机床的加工精度,从而论证了时序分析法在数控机床热误差建模应用中的可行性与有效性。 相似文献
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河南省中原大化集团有限责任公司煤化工项目空分装置52000Nm^3/h是由杭氧股份有限公司制造,是国内设计投产的最大一套空分装置,采用分子筛切换吸附、带增压端膨胀制冷、内压缩无氢制氩流程,设计氧产量52000Nm^3/h,纯度99.74%(O2,V/V),氮产量60600Nm^3/h,纯度10ppm(O2含量),氩产量1600Nm^3/h,纯度99.999%(含氩)。 相似文献
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