排序方式: 共有15条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1.
2.
3.
晶圆减薄工艺是伴随芯片堆叠技术的发展而出现的新制造过程,其制造质量直接关系最终产品成品率。文章以堆叠芯片晶圆减薄工艺质量参数为研究对象,拟建立监控晶圆减薄工艺质量的完整方法。首先,以该道生产工序质量参数序列建立自回归滑动平均模型,用于表达该道生产工序的质量特征变化。然后,在此模型的基础上,使用多尺度估计理论对该模型进行滤波分解处理,获得质量参数时间序列的高频信号,提取该道质量变异的方差变化。最终,使用统计学上的累积和控制图对质量变异信号进行诊断分析,根据工序方差变化的起始位置,提前发现系统可能存在的质量变坏趋势。经试验数据验证,相比传统的检验方法,该方法有95%的概率可以提前预测产品质量发生变化。 相似文献
4.
5.
球面缝隙流动常见于多种机械结构,如柱塞泵中的球面配流副、球铰副等,然而针对球面副半径不等及存在偏心的缝隙流动特性研究较少。针对2个半径不相等的球面元件形成球面缝隙且其球心存在一定偏心时,根据球坐标系下的N-S方程对其缝隙中流体的速度分布、压力分布、泄漏流量及流体的承载量进行了分析,得到了相应的解析表达式,依此可知,半径相等且球心存在一定偏心时球面缝隙中流体的相关解析表达式;同时,得到了仅与球面缝隙流动自身结构有关的球面支撑泄漏系数和球面支撑承载系数,进一步为形成球面缝隙的机械结构(如柱塞泵中的球面配流副、球铰副等)相关设计提供理论参考;最后以柱塞泵中球铰副形成的球面缝隙为例,对其缝隙中流体的压力分布、速度分布等参数进行了分析。 相似文献
6.
由于几何维修过程及其拓展模型能够较好地描述故障及其维修时间的随机分布,成为贮备系统可靠性建模的主要工具之一.同时,周期预防性维修活动受生产周期、维修力量等因素影响后呈动态随机事件,表现为拟周期形式分布于其维修窗口.为研究服从拓展几何维修过程的贮备系统的拟周期预防性维修策略优化问题,以互异的两单元冷贮备系统为研究对象,在... 相似文献
7.
地铁车门系统是地铁日常重点维护对象之一,车门关闭时的夹紧力常用作间接检验其可靠性的定量指标.但频繁的检查不仅占据整备时间,也增加劳动成本.以地铁车门夹紧力为研究对象,提出一种二维ARIMA模型预测方法.预测结果表明,相比于一维ARIMA模型预测结果,二维ARIMA模型的地铁车门夹紧力预测结果具有更高的精度.预测结果可为... 相似文献
8.
9.
基于Pro/E的注塑模具设计与Mastercam加工 总被引:1,自引:0,他引:1
模具在现代生产中,是生产各种工业产品的重要工艺装备,它以其特定的形状通过一定的方式使原材料成形,并且具有优质、高产、省料和低成本等特点。通过座体零件的具体实例,说明了该零件模具的Pro/E设计过程,具有一定的借鉴意义。 相似文献
10.
存在故障相关及不完备检测的主辅并联系统可靠性建模与维修策略 总被引:1,自引:0,他引:1
主辅部件并联普遍存在于机电系统中, 部件间存在故障相关性等因素使得针对系统的可靠性建模和维修策略优化尤为困难. 本文以部件间存在I类和III类故障相关性及因检测系统的不完备引起主部件累积损伤速率分布改变的主辅并联系统为对象, 通过对系统退化过程的分析建立其可靠性模型. 依据所建模型和观测的辅助部件的故障次数及系统的运行时间, 建立(T, N)预防性更换策略优化模型. 通过案例分析检测系统的完备性、累积损伤速率等参数对系统可靠性及预防性维修策略的影响. 相似文献