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用SiH2Cl2在3种温度下进行了多晶硅薄膜的沉积,根据膜厚计算出了沉积速率,用SEM、XRD和薄膜应力测试仪对薄膜进行测试分析.证明用SiH2Cl2在950℃时可以快速沉积用于MEMS的多晶硅. 相似文献
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异步电机的失电残余电压研究 总被引:3,自引:0,他引:3
对异步电机失电残余电压的产生进行分析;建立了异步电机失电残余电压仿真计算模型,并进行仿真计算;定量分析异步电机失电残余电压的幅值、频率及其随时间变化的关系,并进行实验研究。异步电机失压后,残余电压的频率将突变,且不断减小,其大小由转子的转速决定;失电残压的幅值与失电时刻电源的相位及电机参数等有关,并随时间衰减。仿真计算与实验测试结果一致。 相似文献
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电力系统动态等值的在线测辨研究(Ⅰ)——模型及其可辨识性 总被引:3,自引:3,他引:0
对大型电力系统采用动态等值可以大大降低计算量,并能突出主要特征。给出两种动 态等值模型,提出并研究动态等值模型的可辨识性问题,既具有重要理论意义,又有实用价 值。结果表明:仅利用扰动前及扰动中的测量数据,等值模型有些参数不可辨识。进而提出 增加后稳态作为附加条件,使其所有参数均可辨识。 相似文献
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