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微电机是微机电系统(MEMS)的核心,超声微电机是一个新的发展方向.这几年发展十分迅速. 首先对比分析超声微电机与电磁型微电机和静电微电机的区别,对国内外现有的几种超声微电机及其发展趋势进行了介绍和分析,指出目前超声微电机发展存在研究定位不明和关键技术尚未完全解决两大问题。并提出了今后超声微电机发展的研究定位和必须解决的一些关键技术,其应用重点是军民两用,特别是军工. 最后,指出市场牵引和工程实现是超声微电机取得突破的关键因素的同时,政府、产业和研究单位各方面的重视和形成合力则是推进我国超声微电机研究和产业化的关键. 相似文献
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通过电滞回线测试,探讨了xPb(Mn1/3Sb2/3)0.05(Zr1/2Ti1/2)0.95O3(1-x)Pb(Zn1/3Nb2/3)0.28(Zr1/2Ti1/2)0.72O3[xPMnS-(1-x)PZN]陶瓷的铁电性能及铁电相变特性.同时研究了Ba2 取代Pb2 对材料铁电性能的影响.结果表明;三方相含量较高的0.2PMnS-0.8PZN陶瓷具有较高的矫顽场和较大的剩余极化强度;四方相含量较高的0.5PMnS-0.5PZN和0.6PMnS-0.4PZN陶瓷具有较低的矫顽场和较小的剩余极化强度,Ba2 取代使三方相含量增加,铁电性能明显提高. 相似文献
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三自由度行波型超声波电机的静力学分析 总被引:1,自引:0,他引:1
从三自由度行波型超声波电机的驱动原理与基本结构出发,使用变换矩阵得到了定转子的位置变换关系,进而分析了球转子的受力情况,并给出了定转子接触圆周的接触力方程.根据球转子和各个行波定子的力平衡方程,得到了球转子球心的微位移和行波定子的轴向压紧量与行波定子的轴向压紧力的关系方程.仿真分析表明,对电机定子施加对称的压紧力、增大定子轴线与基本坐标系轴线的夹角和减小定子半径,能够减小定转子接触圆周上定子与转子不相互接触的区域,使电机性能得到充分发挥. 相似文献
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球形二自由度超声波电机的运行机理和特性 总被引:1,自引:0,他引:1
球形二自由度超声波电机可以实现二个自由度的运动,从二自由度行波型超声波电机的基本结构与驱动原理出发,建立了定转子的位置关系式,从而得到电机的驱动力方程,进而求出定子的驱动力矩方程,然后分别对转子在静止和转动情况下的驱动力方程做了讨论,最后求出球形二自由度超声波电机的驱动力矩数学模型.随之通过电机的结构参数对电机的驱动力矩进行了仿真计算,然后通过实验对驱动力矩做了初步验证,实验结果证明了数学模型的有效性,对二自由度行波型超声波电机的优化设计和性能提高奠定了理论基础. 相似文献
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多自由度球形超声波电机具有机械集成度高、分辨率高和无电磁干扰等独特优势,在微型机器人、医疗设备和监控探测等领域具有广阔的应用前景。为了提升多自由度电机的容差性和自适应调节能力,提出了一种基于柔性板簧的三自由度球形超声波电机,从电机定、转子空间位置和几何结构关系出发建立了电机的静力学模型,可分析电机各种结构参数对接触圆周的力分布影响。通过电机的算例分析,证明柔性板簧具有自适应的调节能力,可为电机定、转子提供较均匀的预紧力。研究成果对三自由度球型超声波电机的优化设计与性能提升具有指导意义。 相似文献
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压电驱动器是一种由压电功能材料构成的微型机电器件,为研究改善压电驱动器环形压电振子的振动特性和俘能特性,建立了压电振子的机电耦合有限元模型,分析了压电振子齿槽倾斜度和支撑对其振动特性和俘能特性的影响,并从改善振子振动特性和俘能特性角度出发,对压电振子进行了结构优化设计;其次,利用该有限元模型求解了压电振子的导纳特性曲线... 相似文献