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大角度离子注入机控制系统软件设计 总被引:1,自引:1,他引:0
大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠。 相似文献
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状态机在离子注入机中的应用 总被引:1,自引:1,他引:0
罗宏洋 《电子工业专用设备》2009,38(9):49-53
报告了在离子注入机控制软件建模时使用状态机的原因,以及控制软件的结构、状态机的层次结构和由状态机自动生成代码的方法,并介绍了应用状态机设计开发的离子注入机控制软件的优点。 相似文献
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为降低定位误差,规避复杂环境造成的巡检风险,研究基于PID算法的输电线路无人机巡检路径智能自动规划技术。采用RTK定位技术,采集了输电线路无人机巡检标志点位置信息,利用路径生成方法,模拟无人机从起始点到目标点的最优几何路径,创建无人机高度和姿态直接受PID参数控制的动力学模型,运用基于PID算法的路径规划跟踪控制器,控制无人机按照最优路径飞行到目标点,实现了输电线路无人机巡检路径智能自动规划。实验结果表明:待巡检标志点定位误差始终低于0.25×10-4;该技术规划的输电线路无人机巡检路径较短,能有效规避复杂环境造成的巡检风险。 相似文献
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强流氧离子注入机装卸片控制系统 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统,控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动,解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题,并最终实现了晶圆的全自动传送。 相似文献
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