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微电子机械系统在生物医学领域中的应用 总被引:5,自引:0,他引:5
本文介绍了国际上微电子机械系统研究的状况以及发展趋势;阐述了目前微电子机械系统在生物医学中的应用和研究开发的方向;并详细地介绍了日本在微小血管检测系统方面所作的研究工作;最后提出了应用于医疗领域中的微电子机械系统的发展前景. 相似文献
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非线性模型的压电元件复合控制方法 总被引:2,自引:2,他引:0
研究了压电元件的非线性及其复合控制问题。依据压电元件全程及局部伸长和缩短的实验数据,提出了一种根据外环曲线参数及当前坐标值确定比例系数,进而确定内环伸长曲线的数学模型。实验表明,这种全面反映内、外环曲线的非线性数学模型对上升和下降过程的最大拟合误差在全程范围内分别为1.2%和2.0%。利用此模型,可在压电元件非线性外环曲线及目前电压-伸长量已知的情况下,求出其下一时刻上升或下降的路径。以此模型为基础,构造了一种压电元件前馈复合控制算法,在输入峰-峰值为4 μm位移的情况下,得到了280 Hz的闭环带宽。同普通PID控制算法相比,带宽提高了30%以上。 相似文献
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设计并加工了一种新型的微量热计,该微量热计的制备采用半导体加工工艺和表面微机械加工技术.与体硅加工的微量热计相比,具有成品率高和器件尺寸控制准确的优点.在真空环境中,该微量热计在5.5mW的加热功率下,中心温度从300K升至400K只需约0.5ms,升温速率达2×105K/s.针对微量热计热质小、升温快等特点,引入了脉冲扫描量热法来测量薄膜的热容.测量了厚度为(430±20)nm的Al薄膜从300K到420K的热容曲线,该薄膜的热容在室温附近为9.2nJ/K.若薄膜的密度值取2700kg/m3,则该Al薄膜的比热容在室温下约为1096.8J/(kg·K),比Al体材料的比热容值900J/(kg·K)增加了约21.9%,表现出金属纳米晶体的热容增强效应. 相似文献
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以双盘式渐开线测量装置为研究对象,研究了对此装置的微机误差补偿方法。从众多的误差源中选出最大的三种误差进行补偿,使装置不确定度由原来的≤±0.7μm下降到≤±0.5μm. 相似文献
10.
在线性叠加模型基础上提出了气体传感器对混合气体的非线性叠加模型,并引入了非线性主成分分析(Nonlinear Principal Component Analysis,NLPCA)法对微传感器阵列的信号进行处理。使用该模型对由4个微热板式气体传感器组成的阵列的信号进行了分析,对照基于线性叠加模型的主成分分析法(Principal Component Analysis,PCA)的识别结果,说明该方法能够提高对混合气体识别和量化的准确度。 相似文献