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针对数字微反射镜装置(DMD)无掩模光刻系统,提出并研究了一种数字光栅无掩模光刻对准方法,将硅片的微位移放大显示在数字光栅与硅片物理光栅叠加产生的叠栅条纹中。建立了基于DMD的数字光栅无掩模光刻对准模型,设计了对准标记以及具体的实现方案,并对模型进行了数值仿真和初步的实验验证。结果表明,采用频率可变、图像干净、具有良好周期性结构的数字光栅代替传统的真实掩模光栅,真正实现了零掩模成本;并且采用变频率数字光栅可以扩大测量范围,减小位移测量误差。最终可以实现深亚微米的对准精度,满足目前无掩模光刻对准精度的要求。 相似文献
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为了提升局部立体匹配的精度,提出了一种基于改进Census变换和自适应支持域的立体匹配算法.针对传统Census变换算法对中心点处的采样敏感、误匹配率高的问题,结合中心点左右插值点的信息,提出了一种对采样不敏感的改进Census变换算法.在计算匹配代价阶段,将改进Census变换与彩色信息及x、y方向的梯度信息相融合以... 相似文献
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堵港蓄淡工程小流量机组群抽水排咸技术及效益分析 总被引:1,自引:0,他引:1
由于堵港前水库低洼地滞留海水,或水库建成后大坝闸门泄漏等原因,堵港蓄淡水源往往水质偏咸,并出现季节性泛咸,影响水质。一般采用机械抽排咸水以达到净化水质的目的。但采用常规的抽排技术,难以取得令人满意的效果。理论分析及实践表明,采用适当数量的水泵,选择合适的进水管口位置及间距,以及适宜的水泵吸程和流量,是保证排咸顺利的重要条件。经1993年、1994年分期对象山县大塘港水库的3处深潭咸水实施了机械抽排 相似文献
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光子筛是一种新型的纳米成像元件,具有高分辨、质量轻、体积小及易复制的优点,对于成像系统轻量化以及极短波谱区成像具有重要意义。根据解决的具体问题对国内外光子筛研究成果进行分类,从成像对比度的增加、衍射效率的提高、宽光谱成像和高数值孔径光子筛设计等方面详细介绍了光子筛的发展现状,并针对这四方面研究内容分析了目前尚需解决的技术问题。这些问题仍然是今后光子筛研究的主要方向。指出光子筛实用化面临的其他客观存在的问题,并展望了光子筛在天文望远镜、显微镜和光刻等领域的应用前景。 相似文献
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