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采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
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1.混凝土冬期施工实例大庆油田断东三元注入站位于211-4注入站进站路东侧约20m,北站泡至群英泡的排水渠西侧约36m,占地面积10050m2。新建主厂房1座(85.17×21.74m),辅助间1座(40.03×6.38m)。主厂房结构圈梁截面为0.370×0.4m,C20钢筋混凝土,水泥采用普通硅酸盐水泥,施工环境最低气温-9℃。2.混凝土冬期施工方法选择依据混凝土冬期施工采用综合蓄热和热水循环法。根据《规程》要求综合蓄热法有4个适用条件:(1)气温条件:ta>-12℃,ta为日平均气温(℃)。(2)结构体型条件:5m-1相似文献
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表面安装工艺是伴随着微电子技术的迅速发展而出现的一种电子元器件装联的新工艺。这种新工艺的出现,对印制电路板设计也提出了一些特殊的要求。本介绍了表面安装工艺的一些特点,并对印制板设计要求提出了一些建议。 相似文献
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朱辉杰 《CAD/CAM与制造业信息化》2004,(12):75-76
1968年,DouglasEnglebart博士和他的同事制作了世界上第一个鼠标--一个连着长线、带轮子和按钮的木头匣子,不过他显然没有意识到这个"匣子"对个人计算机发展的重要意义,他甚至没有马上去以个人名义申请专利,若干年后当鼠标已经成为了个人计算机的标准配置时,他才从斯坦福研究会拿到了区区一万美元的经济补偿.在随后的30多年时间里,数以亿计的计算机用户使用他们的鼠标完成"指指点点、比比划划"的工作,除了结构上从机械到光电,外观千变万化外,"鼠标"家族似乎没发生什么大的变化.在CAD方面,设计工程师们更是须臾离不开鼠标,在CAD软件系统的帮助下,鼠标就是工程师的尺子、铅笔、橡皮…… 相似文献
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求解二维结构-声耦合问题的一种直接方法 总被引:1,自引:1,他引:0
本文基于传递矩阵法(TMM)和虚拟边界元法(VBEM),提出了一种求解在谐激励作用下二维结构-声耦合问题的直接法。文中对任意形状的二维弹性环建立了一阶非齐次运动微分方程组,便于用齐次扩容精细积分法求解,对于含有任意形状孔穴的无穷域流体介质的Helmholtz外问题,采用复数形式的Burton-Miller型组合层势法建立了虚拟边界元方程,保证了声压在全波数域内存在唯一解。根据叠加原理并结合最小二乘法,提出了一种耦合方程的直接解法,由于该方法不存在迭代过程,因而具有较高的计算精度和效率。文中给出了二个典型弹性环在集中谐激励力作用下声辐射算例,计算结果表明本文方法较通常采用的混合FE/BE法更为有效。 相似文献
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本文简要介绍了工业净洗剂在搪瓷用钢板坯材表面处理中的清洗、阻蚀、保护等多种作用,同时简要介绍了清洗后的废水的处理方法。 相似文献
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