同轴式高分辨率激光轮廓仪

本文着重介绍了一种新式高分辨率激光轮廓仪的原理、结构。此仪器测量表面微观形貌时，在高度方向的分辨率按国际惯用的均方值表示已优于１，并且在测量结果的形状误差方面明显优于国外研究成果。使它达到如此高分辨率的关键在于从光学结构上保证了优良的抗振动干扰性能，即使试件受外界振动干扰幅度达７０纳米时，仍能正常进行亚纳米级分辨率的测量。     

用Taylor轮廓仪巧测轴承沟位置

针对传统检测方法在检测轴承沟位置时，具有效率低、准确率低等缺点的情况，介绍如何使用Taylor轮廓仪检测轴承沟位置。主要有两种方法：一是公式法，二是间接测量法，它们具有准确性高，效率高和操作容易的特点。     

数字光学轮廓仪中相位去包裹算法研究

相位扫描干涉度量术的广泛应用推动了去包裹算法的发展。在多种算法中,用于数字光学轮廓仪的相位去包裹算法必须具有较高的普遍适用性,而且必须兼顾健壮性与效率。本文对传统算法和最小二乘算法这两种典型去包裹算法进行了比较研究,并在自行研制的数字光学轮廓仪上进行了验证。     

接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制

针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题,采用半导体工艺技术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置检查图形,可实现探针针尖10个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为-150～150μm内探针扫描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为P-6的接触式轮廓仪进行了检查,实验结果表明:该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题,进而有助于接触式轮廓仪探针的故障检查和维修。     

毛刷式钝化机对硬质合金钻头刃口钝化试验研究

目前刀具刃口处理多采用机械钝化的方式,存在钝化效率不高、均匀性不好、钝化量不精确等问题。现采用GERBER BP-Smart毛刷式钝化机与MMD-100B型轮廓仪相结合,对硬质合金钻头刃口钝化,通过合理选择钝化参数,有效解决了上述问题,并得出一组优化参数,使钝化效率较以前提高70%。     

USB技术在实时测控系统中的应用

对新型计算机接口技术一通用串行总线（USB）进行了介绍，设计了基于USB技术的实时测控系统，实现了对TALYSURF5轮廓仪的改造。重点讨论了如何通过增加并行协处理器来增强USB主控制器的实时控制，并简要介绍了系统的软件结构。     

电感式传感器信号处理模块的研制

本文了讨论了一种电感式传感器信号处理模块，重点介绍了该模块的组成，原理，性能，以及在轮廓仪中的应用，该模块工作稳定，能满足较高精度要求。     

触针测量法研究磨损表面形貌变化的实验系统

介绍了一组测量分析表面形貌的仪器系统，并对系统的建立和参数选用做了详细说明。此系统除可精确测量磨损量外，还可运用现代数字信号处理技术对表面信号进行更深入的探讨，对于研究磨损表面形貌变化规律具有较强的实用性，同时对其它有关微观形貌变化研究领域提供可靠手段。     

基于AFM的靶丸表面轮廓仪设计及其测量精度分析

基于商用原子力显微镜（AFM）建立了靶丸表面轮廓测量仪系统，并对该系统的精密回转轴系进行了结构设计．为了评价系统的测量不确定度，进行了气浮轴系回转精度测试，确定了回转轴系的误差曲线，其最小二乘圆度误差为48 nm；同时对安装回转轴系后AFM的测量噪声进行了测试，并通过结构改进使静态噪声幅值降为约10nm．应用这一系统进行了靶丸表面圆周迹线的测量实验，实验测量出该系统运转测量时噪声幅值约13 nm，综合测量误差约49．7 nm，此测量精度可以通过回转轴系的误差分离来进一步提高．     

基于C++ Builder的活塞环外圆轮廓仪控制软件

介绍如何利用面向对象技术和Ｃ＋＋Ｂｕｉｌｄｅｒ４．０可视化应用程序快速开发工具设计活塞环外圆轮廓仪测量控制软件。还讨论了Ｉ／Ｏ端口信号处理的实现方法。