一种新型表面轮廓仪的设计

针对传统表面轮廓测量方法存在的速度慢、测量不准确、对透明物体难以测量及测量信号误差较大且不易处理等问题,设计了一种新型表面轮廓仪.通过温度补偿方法,对电涡流位移传感器进行了温度补偿.基于LabVIEW,设计了人机交互界面.试验表明该轮廓仪具有一定的可行性.     

激光干涉轮廓测量技术的发展

本文介绍了激光干涉轮廓测量技术中最新研制出的五种同轴激光干涉轮廓仪：Huang的光学外差轮廓仪、Downg的双焦轮廓仪、Panter的外差干涉轮廓仪、Offside的干涉轮廓仪、周氏激光轮廓仪的原理及特性。     

三维表面形貌分析方法及其在深拉延中的应用

本文通过两种表面形貌检测和评定方法的对比，以及表面形貌分析在铝板深拉延中的应用表明，非接触三维表面形貌测量方法对于摩擦表面的优化和摩擦、润滑性能的提高具有很大的实际指导意义。     

基于激光轮廓仪的非接触式钢轨廓形检测系统

传统钢轨廓形几何尺寸测量多以手工测量为主,基于激光轮廓仪的高精度廓形检测系统的应用可解决手工测量效率低、误差大的问题。新补充利用中值滤波法对激光轮廓仪采集到的廓形数据进行预处理;通过坐标平移和坐标旋转将坐标系归一化;然后通过二次拟合选择合适的特征点对廓形拼接匹配。经现场测试,钢轨廓形尺寸的重复测量误差小于0.1 mm,绝对测量精度最高可达0.014 mm,满足国家标准对钢轨廓形检测精度的需要,说明该方法有效提高了钢轨的检测效率。     

MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较

精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统（ MEMS）制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、扫描电镜、原子力显微镜和工具显微镜分别测量了10 nm～100μm各种薄膜的厚度。比较了不同测量仪器的测量范围、分辨率和对样品的适用性,分析了薄膜厚度测量过程中误差产生的机理。实验结果表明：当存在膜层台阶时,10 nm～100μm的膜厚测量均可采用接触式表面轮廓仪,对于硬度较高的膜层可采用电感测微仪,对于厚度小于0.5μm的膜层可采用原子力显微镜;对于可观察样品侧面、厚度大于0.7μm的膜层可采用扫描电镜,工具显微镜适用于μm级膜层,对于厚度大于20μm的膜层不宜采用光谱椭偏仪。     

表面粗糙度检测技术发展概述

机械加工中，表面特征的研究是控制机械零件表面质量的主要内容，而表面粗糙度是表面特征的重要技术指标之一。随着机械加工工艺水平的提高，对零件的表面质量提出了越来越高的要求，因此如何进行测量和评定已成为国内外学者研究的主要课题。自从扫描探针显微镜(SPM)出现后，各类SPM已经成为测量超精密表面粗糙度的有力手段，并发挥出技术优势。     

同轴式高分辨率激光轮廓仪

本文着重介绍了一种新式高分辨率激光轮廓仪的原理、结构。此仪器测量表面微观形貌时，在高度方向的分辨率按国际惯用的均方值表示已优于１，并且在测量结果的形状误差方面明显优于国外研究成果。使它达到如此高分辨率的关键在于从光学结构上保证了优良的抗振动干扰性能，即使试件受外界振动干扰幅度达７０纳米时，仍能正常进行亚纳米级分辨率的测量。