激光双焦干涉球面轮廓仪实时扫描及数据处理系统

介绍了一种双焦干涉球面扫描轮廓仪，该仪器利用计算机及自动控制系统对曲率半径从±5mm～±30mm的球面进行扫描驱动及采样，并将球面轮廊信号通过A/D转换及数据处理后显示打印表面轮廓参数。整个系统功能齐全。     

高分辨率光学轮廓仪

本文提出了一种对机械振动等环境干扰不敏感的高分辨率光学轮廓仪，应用Ｎｏｍａ－ｒｓｋｉ微分干涉显微成象原理和相移干涉技术，实现了对表面微观轮廓的高精度绝对测量。仪器不需要标准参考反射镜和机械扫描机构，并且机械振动等外界干扰不敏感，在不采取隔振和恒温等环境控制措施的一般实验室环境中，达到了优于０．１ｎｍ的垂直分辨率和０．２ｎｍ的表面轮廓高度重复测量精度。     

小型非球面轮廓测量仪的原理及应用

介绍了自行研制的FLY-I非球面轮廓仪的设计以及测量软件数学模型,其实用精度为1～2 μm.光学元件的抛光精度取决于精磨精度,本实验室现有的LOH高精度铣磨机床经过对第1次精磨后的光学元件面形进行修正,2次精磨后其精磨精度可达到2 μm.研究了这一非球面轮廓仪以配合LOH铣磨机床,测量得到1次精磨后的面形误差数据,经过误差反馈进行2次精磨,以保证光学元件的精磨精度.通过多次实验以及数据处理、分析,证明自行设计、装调的非球面轮廓仪达到了设计的精度要求,可满足实验室,光学加工车间对小型非球面精磨阶段面形的检测要求,即精磨面形误差在2 μm以内,同时也可直接用于中低精度非球面光学元件的最终检测.     

机械表面的分形及维数计算

1前言迄今为止,工程技术中的几何形状和分析,都是以几何维数为整数的经典的欧氏几何为基础的。它假定,当测量尺度观察区间逐渐减小时,所有的局部轮廓曲线都展开趋近于短直线;所有的局部曲面表面,都趋近于小平面,即一切形状都可简化抽象归结为由直线复合组成,其典型的数学工具是解析几何和微分几何。这种简化抽象有其合理性,但也存在局限性。现实世界中真实物体形状与上述简化抽象的‘规则’曲线、‘规则’曲面之间的差异,人们往往总认为是由于各种误差引起了对规则形状的偏离,因此总是用在‘规则’曲线、曲面之上迭加偏差     

轮廓仪测量系统的不确定度

本ＩＳＯ１９９３（Ｅ）《测量不确定度表示导则》,分析了５Ｐ－１轮廓仪微机测量系统量传粗糙度参数Ｒａ、Ｒｙ和Ｒｚ时朱确定度及自由度,同时确定其合成标准不确定度和扩展（总）不确定度,并地系统的性和稳定性进行了考核,以及对不确定度进行了严格的验证。     

一种电感式传感器信号处理模块

研制了一种电感式传感器信号处理模块,重点介绍了该模块的组成、原理、性能．通过在Ｔａｌｙｓｕｒｆ４型电动轮廓仪中的应用,表明该模块工作稳定,能满足较高精度要求．     

实时扫描非接触测量表面微观轮廓仪

介绍了一种利用非接触式方法实时扫描测量精密元件表面轮廓的技术,同时研究了研制了计算机自动控制的多功能表面轮廓仪,该仪器可对各种超光滑球面及平面进行平移和旋转的实时扫描采样,利用干涉共模抑制技术,有效抑制了各种噪声,测量数据可靠,实时显示表面轮廓参数及轮廓图,仪器横向分辨率为１μｍ,纵向分辨率为０．１ｎｍ。     

曲轴圆角半径测量方法对其过程控制能力的影响

简要介绍了利用R规和轮廓仪测量曲轴圆角半径的两种测量方法,并利用Minitab软件,对这两种测量方法所能达到的过程能力进行了分析。结果表明:利用R规,测量曲轴圆角半径的实际过程能力指数Cpk为0.23,测量过程控制能力严重不足;而轮廓仪测量所达到的实际过程能力指数Cpk为1.03,满足过程质量控制的要求。因此,曲轴生产过程中使用轮廓仪能精确测量曲轴圆角半径,其加工一致性与实际过程控制能力远大于R规测量。建议曲轴生产厂家使用轮廓仪测量曲轴圆角半径,提高曲轴圆角半径尺寸的测量精度,进而保证砂轮修整精度,提高过程质量控制能力。     

角针法测量表面粗糙度的发展及现状

着重阐述机械触我法测量表面粗糙度稳妥 针式轮廓仪的发展及现状,评定基准线的发展以及目前国内、国际市场上的主要轮廓仪产品。