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101.
本仅以微电子工业的发展对空气洁净技术提出的要求为中心,介绍了国外在分子态化学污染控制、高洁净度微环境控制、新型洁净产品开发以及大型洁净室运行节能等方面,在近几年中的技术进展。 相似文献
102.
研究了采用感应耦合等离子体-原子发射光谱技术表征高剂量氧注入单晶硅制备SIMOX-SOI材料过程中金属杂质污染的有效性.同时研究了采用强酸清洗、加SiO2膜覆盖等方法对降低污染程度的效果.利用ICP技术可以对大面积或整个硅片进行采样,检测结果是一种整体的平均效果.采用强流氧注入机进行高剂量氧注入,发现金属杂质污染元素主要是Al、Ar、Fe、Ni;注入后强酸清洗样品可有效降低Al污染;60nm厚的二氧化硅注入保护膜可阻挡一半的上述金属污染. 相似文献
103.
105.
106.
107.
水平井段周围污染的分布既不是圆形的,同时也不是沿水平段均匀分布的。渗透率各向异性必然会形成与油井呈正交的椭圆形分布。钻井和完井过程中不同的暴露时间会产生一个截锥椭圆柱体,且其较大的底面靠近水平井的垂直段。同时,在生产过程中,井内的压力分布使得在靠近垂直井段上产生最大的与井眼轨迹正交的压力梯度,因而所引起的污染带也将呈椭圆形,这种污染特征会影响到基质增产处理的效果。在砂岩中,解除的污染将呈椭圆形,如果使用连续油管(推荐使用),增产处理就会产生-改善的绕井“圆环”。对于碳酸盐岩的增产处理,由于它不是仅仅依赖于酸液的流动,而且还依赖于岩石的实际溶解状况,因而,解除的污染带将可能呈圆形。通过对注入过程模拟清楚地说明了污染所最具特征的形状。渗透率各向异性越严重。椭圆偏离于圆形的程度就越大。产量预测表明了污染分布所产生的影响。溶蚀方式和规模(取决于酸液的注入量)对处理后的产量有大的影响。 相似文献
108.
109.
通过对浮法玻璃生产线锡槽部位环境污染物的检测和结果分析,作者指出锡槽部位主要污染源为锡尘、SO_2和NOx,其中SO_2污染严重超标,NOx和锡尘的污染也不可轻视.文中还提出了降低这些污染的意见. 相似文献
110.
通过对枣庄矿区污染防治工作的调查研究,分析了煤矿开采对环境的影响,总结出当前煤矿污染防治的适用技术群,井对其相关问题进行评价。 相似文献