A dishing model for STI CMP process

It is well known that field-oxide dishing occurring in STI CMP leads to considerable sidewall and edge-parasitic conduction as well as high electric fields in the gate oxide at the active-area edge. Thus, a closed-form solution for quantitative prediction of oxide dishing is needed. A contact-mechanics-based approach to describe the steady-state oxide dishing occurring in STI CMP process is presented. The theory is validated through comparison with experimental data in the literature. Once validated, the model is used to quantify the effect of pattern geometry on oxide dishing. Oxide dishing is found to be strongly dependent on field-oxide width and reach the maximum value at a certain pattern density.     

Analysis of the propagation losses of InP/InGaAsP trench waveguides fabricated by focused ion beam

Focused ion beam was used to fabricate 2 mm-long, 4 μm-wide and 4 μm-deep multimode trench waveguides in InP/InGaAsP. An automated stitching method was developed to fabricate mm-long structures using alignment marks. The waveguides were sputtered or etched using I₂ at room temperature and 150 °C stage temperature. The propagation losses induced by the different fabrication techniques were measured and ranged between 50 and 82 dB/cm. A damaged layer with implanted Ga and the sidewall roughness are identified to be the most important causes for the losses. FIB is shown to be a single-step fabrication technique for rapid-prototyping of photonic structures in InP/InGaAsP.     

关于管道沟槽回填处理的体会

通过工程实例,提出管道沟槽回填的方案,阐述了施工中的材料要求、施工方式、检测方法、对回填的质量控制措施,以期指导市政排水管道建设工程,保证施工质量。     

管土相对刚度对沟埋管道竖向土压力影响研究

通过建立管道、回填土、地基的有限元分析模型,研究不同管土相对刚度对管顶竖向土压力的影响。结果表明:管顶填土竖向位移随着管土相对刚度的增大逐渐增大;在相对刚度较小时,随着埋深的增大,管顶竖向位移变化较小;埋深较浅时,管土相对刚度对管顶竖向土压力影响较小,当埋深大于4.5 m时,随着管土相对刚度的增大,管顶竖向土压力明显增大。     

分段空场采矿法聚矿堑沟的设计优化

分段空场法开采缓倾斜矿体时,如果聚矿堑沟布置在矿体与围岩交界的位置,应该对堑沟布置的位置进行必要的分析及计算,以获得较好的经济效益。笔者结合自己的设计经验,对堑沟布置的最佳位置作了分析,提出了堑沟布置最佳位置的计算思路和方法。     

地下连续墙槽孔内快速取芯施工工艺

论述绳钻技术在已钻挖形成的大深度地下连续墙槽孔内取芯研究应用情况及取得的效果,即从工艺特点、工艺原理、施工工艺流程、操作要点及应用成果等方面进行了详细的论述.该施工工艺可以解决复杂地层的地下连续墙深槽孔内常规提钻取芯容易造成塌孔问题,具有较强的实践性和指导意义.     

老挝南梦3水电站枢纽布置设计与设计创新

介绍南梦3水电站工程枢纽布置及主要建筑物设计,特别介绍了该工程的压力钢管道设计。老挝南梦3水电站2005年1月18日第2台机组正式并网发电,工程竣工并移交老挝国家电力公司。电站枢纽布置合理,运行管理方便。电站各建筑物及机电设备,经过正常蓄水位的检验,机组满负荷运行检验,电站达到设计出力,机电设备运行安全可靠,建筑物稳定安全。压力钢管道为槽挖浅埋管（回填管）设计,降低成本,加快施工进度,在同类工程中处于较先进的水平。压力钢管道安装完毕后,恢复了原地貌和植被,保护了电站所属老挝国家森林公园的生态环境,深受老挝业主好评,也赢得较好的国际声誉。灌溉尾水得到老挝政府的赞誉。工程输变电线路打通了与泰国电网的连接,取得了显著的经济效益。     

三峡永久船闸深槽开挖施工技术

在复杂条件下 ,为满足三峡永久船闸闸室槽挖及边坡稳定的要求 ,以达到优质、高效、安全施工的目的 ,采用了一系列诸如爆破方式、设计参数、微差爆破及成型爆破等综合控制技术。通过深槽开挖施工实践 ,总结了对高边坡、高应力释放区的成型爆破措施以及槽、井、洞开挖爆破相互影响的关系、爆破与锚固之间相互影响的关系     

深大基坑开挖施工中的塑性区发展规律的分析应用

在研究深大基坑开挖施工中塑性区发展规律的基础上,可针对不同条件的基坑,采用不同的开挖方式。该规律用于上海地区数个深大基坑中,有效地控制了土体变形,减少了对周围环境的影响。     

某隧道基坑开挖施工中的应变模拟分析

以杨春湖隧道基坑开挖为实例,通过数值模拟的方法,得出开挖后土层水平位移等值线图,并对所得到的数据进行分析,得出基坑开挖后的位移变化规律。根据施工现场的情况和位移变化规律,对基坑边坡选取喷锚或喷网水泥浆支护。