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首先介绍了两种结构完全对称的高灵敏度的摇摆质量陀螺.设计并制作了一种对角驱动的新型摇摆质量微陀螺.利用硅的各向异性湿法腐蚀等MEMS体加工技术,简化了该微陀螺的制作工艺.该微结构的对称性、一致性和加工精度有很大改善,尤其是振动梁、激励部件和敏感部件等关键部件.详细阐述了该微陀螺的工作原理和结构设计,完成了微陀螺关键部件的制作和样机组装.利用NF公司的FRA 5087频率响应分析仪测试了样机大气下的振动模态,其中驱动频率为5.563 2 kHz,检测频率为5.553 4 kHz,频差为9.8 Hz,小于0.2%.利用频谱分析的方法测试了样机的哥氏力.测试结果表明这种摇摆质量微陀螺的设计与制作方法是可行的. 相似文献
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以丙烯为原料,CS-Ⅰ为主催化剂,三乙基铝为助催化剂,分别以环己基甲基二甲氧基硅烷(Donor-C)、二环戊基二甲氧基硅烷(Donor-D)及二者混合物或烷氧基硅烷(SED 2530)为外给电子体,在反应温度为70℃,反应压力为4.0 MPa,物料平均停留时间为1.1~1.5 h的条件下,制备了聚丙烯(PP)粉料;将其与抗氧剂1010、抗氧剂168及硬脂酸钙混合造粒,制备出了PP树脂。结果表明,由SED 2530制备的PP树脂熔体流动速率、等规度、热变形温度和结晶温度依次为4.099 g/min,99.5%,118.3℃,123.3℃;此外,其弯曲应力为1 826 MPa,拉伸屈服强度为38.1 MPa,均高于由其他几种外给电子体制备者,表明以SED 2530为外给电子体的催化体系具有良好的氢调敏感性及更好的刚韧平衡性。 相似文献
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采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备氧化铟薄膜,通过测试原子力显微镜、X射线衍射、X射线光电子谱、紫外可见分光光度计以及霍尔效应,研究了氧化铟薄膜的结构和光、电特性.实验发现,氧化铟薄膜表面粗糙度随着生长温度的升高而增大.X射线衍射结果表明薄膜为立方结构的多晶体,并且随着生长温度的升高,可以看到氧化铟薄膜的晶粒变大以及半高宽减小,这也说明结晶质量的改善.在可见光范围的透射率超过90%.同时,在氩气氛围下制备的薄膜迁移率最大,其电阻率、霍尔迁移率和电子浓度分别达到了0.31Ω.cm、9.69 cm2/(V.s)和1×1018cm-3.退火处理可以改善氩氧氛围下制备的薄膜的电学性能. 相似文献
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本文叙述了160kA预焙铝电解槽阴极负棒优化配置的工业试验情况。试验结果表明,电解槽经过阴极钢棒优化配置后,温度与阴极电流分布趋于均匀,解决了电解槽中心电、热负荷过大的问题。试验槽炉底压降有所降低,炉底降起减小,槽寿命得到延长,并可节约钢材,具有推广应用价值。 相似文献