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铝诱导晶化法低温制备多晶硅薄膜 总被引:8,自引:0,他引:8
为了满足在普通玻璃衬底上制备多晶硅薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器,低温(<600℃)制备高质量多晶硅薄膜已成为研究热点.本文研究了一种低温制备多晶硅薄膜的新工艺:金属诱导非晶硅薄膜低温晶化法.在非晶硅薄膜上蒸镀金属铝薄膜,并光刻形成铝膜图形,而后于氮气保护中退火.利用光学显微镜和拉曼光谱等测试方法,研究了Al诱导下非晶硅薄膜的晶化过程,结果表明;在560℃退火6h后;铝膜下的非晶硅已完全晶化,确定了所制备的是多晶硅薄膜.初步探讨了非晶硅薄膜金属诱导横向晶化机理. 相似文献
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本文介绍了PC集群的基本概念和基于Linux环境搭建PC集群的方法,通过在搭建的实验集群上运行经典的N-body并行计算程序,对实验集群的多机并行计算和单机串行计算性能进行了对比,实验结果表明PC集群并行计算相对于单机计算的性能提示非常可观。 相似文献
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安川变频器成功地应用于纺丝机卷绕浙江湖州丝厂VC406型纺丝机上的卷绕横动装置,共装有24台SEP5634交流异步电动,电机铭牌为60W、0.68A、110Hz、100V,由JBPF—1型可控硅变频器集中供电实现纺丝机卷绕头的横动变速。由于原变频电源... 相似文献
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介绍了脱灰技术的背景和意义,简述了脱灰工艺的分类及原理,着重于超纯煤制备工艺(包括物理法、化学法、物理化学法及微生物脱硫法)的阐述,并对相关工艺技术的研究现状及进展进行了总结,分析了当前脱灰技术发展存在的限制,最后根据国内外脱灰技术的研究现状,对超纯煤基超容炭制备技术今后的发展方向进行了展望。目前,煤基活性炭脱灰工艺普遍存在高生产成本、低后续处理能力等问题。超纯煤制备方面,物理法具有工艺简单、成本低、对煤质影响小的优点,但细磨耗能大,需要改善磨矿工艺,同时配合良好的脱水技术。为克服成本高、工艺复杂、污染大等缺点,需要寻求条件温和、简单的化学处理方法。目前已有一些物理化学法取得了良好的脱矿效果,未来应加强物理法和化学法结合制备超纯煤方面的研究。微生物脱硫法可同时去除无机硫和有机硫,但脱硫周期长,未来应不断寻找高效、经济的新型脱硫菌种,研制更有效的微生物选矿药剂,以提高脱硫效率。大部分脱灰工艺都存在废水、废液后续处理问题,应提高相关处理能力,并发展药剂回收技术以提高经济效益。 相似文献
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