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抛光加工工艺的材料去除量非常微小,因此难以对该材料去除量进行精确测量。本文采用常用表面粗糙度测量仪对反映硅片抛光材料去除量的抛光深度进行了简易、快速和实用的测量,较好地解决了微小去除量的测量问题,并通过实例证明该方法可行。 相似文献
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引言 超纯水电解加工是在常规电解加工原理的基础上,利用超纯水作电解液,并采用强酸性阳离子交换膜来提高超纯水中OH-离子的浓度,使电流密度达到足够去除材料的一种新型电解加工工艺方法. 相似文献
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通过热浸镀铝及微弧氧化的方法在球墨铸铁表面上获得了陶瓷层,并对该涂层进行了XRD、SEM分析.研究结果表明:浸镀温度越高,镀层越厚,直到达到一峰值;浸镀时间越长,镀层越厚.球墨铸铁浸镀微弧氧化获得的涂层由涂层表面至基体依次为陶瓷层、纯铝层、扩散层、基体.陶瓷层主要为Al2O3相,扩散层由FeAl3、Fe2Al5相组成. 相似文献
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建立了超声磨削在小直径磨轮、大切深、蠕动进给条件下单颗磨粒最大切深模型; 对ZrO2陶瓷进行蠕动进给机械磨削和蠕动进给超声磨削对比试验, 考察了磨削参数对磨削力的影响.实验结果表明: 超声振动可减小磨削力. 相似文献
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为了解决陶瓷叶片型面加工难题,研制了超声磨削数控装置。介绍了该装置总体结构及主轴变频驱动系统设计。分析了圆柱磨轮数控超声磨削平行直纹面时磨轮空间位置,分析了加工原理误差产生原因,通过对磨轮两次偏移变换,可显著减小加工原理误差,计算出磨轮空间轨迹。采用新研制的装置进行了数控超声磨削陶瓷直纹面工艺试验,试验结果表明:超声磨削数控装置运行良好,轨迹计算合理;蠕动进给超声磨削加工陶瓷叶片型面是可行的,研究成果可用于陶瓷整体叶轮叶片型面加工。 相似文献
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介绍了利用多种传感器对电解加工的过程进行在线检测,获得反映加工过程变化的工艺参数,经数据处理后,利用自适应共振神经网络对工艺参数进行智能识别,从而实现对加工过程的故障诊断。由于采用了多信息融合技术.大大提高了系统故障诊断的准确性和可靠性。 相似文献
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本文介绍气液两相管流以及电解加工间隙中流体音速和“阻塞”现象的试验研究,认为电解加工间隙中流体音速值很低,在一定条件下会产生“阻塞”现象。“阻塞”对电解加工的主要影响是在阳极型面的出口端产生急剧变化的凸起,防止“阻塞”现象的经济而有效的措施是施加适当的背压。本文还对电解加工间隙中流体音速的计算以及对爆炸压力波传播速度向音速修正进行了理论分析,推导出相应的计算公式。 相似文献
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把计算机数控引入电解加工工艺,能应用简单形状的电解阴极,作型面展成运动,从而可以加工复杂型腔和型面。 相似文献
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在成形规律研究的基础上,讨论了棒状阴极光整加工直纹面叶片对阴极半径对加工精度的影响,并提出了减小加工误差的方案。 相似文献
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采用矩形截面内喷式阴极进行展成电解加工平面的工艺试验,得到了阴极送进速度、工作电压、初始间隙与电解加工间隙和电解去除量之间的关系曲线,以及阴极送进速度和工作电压与加工表面粗糙度之间的关系曲线,并对试验结果进行了分析。 相似文献
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