基于低能电子束的光刻技术

讨论了聚焦电子束曝光中的邻近效应问题,阐述了扫描隧道显微镜的原理和工作方式。把扫描隧道显微技术用于低能电子束的光刻,不仅能提高图形的分辨率,而且使电子束加工工艺不再局限于真空环境。对曝光电子的能量和线条宽度之间的关系进行了分析。     

高炉鼓风机循环供水系统的改造

分析了铁厂供水系统的现状及存在的问题,提出了改进供水系统的具体措施。     

高强高导弥散强化铜材料可锻性研究

对高强高导弥散强化铜材料的可锻性进行了实验研究。针对预成形坯材料在锻造过程中出现裂纹的问题 ,制定了预成形坯材料相对密度对可锻性的影响 ,打击能量对预成形坯材料可锻性的影响 ,应力状态对预成形坯材料可锻性的影响 ,预成形坯材料的高径比对可锻性的影响四种实验方案进行研究 ,研究表明 :使用合理的工艺参数能够对低塑性的弥散强化铜材料进行锻造加工 ,可以大大改善材料的工作性能。     

拥有一颗快乐的心

为什么有的人走起路来脚步轻盈,明朗的五官总是带着吟吟的笑容,给人以春天般的明媚呢?因为他拥有一颗快乐的心,所以经常用快乐的     

新型组拼式模板在高层建筑施工中的实践与研究

新型组拼式模板为一种新型工具式大模板,目前已成为高层建筑剪力墙结构工程的主导施工方法.本研究从模板、角模高度以及阴阳角模的接口形式、质量控制以及模板处理方面对该技术做了全面研究、探讨,并运用于实际,得出新型组拼式模板应用时,可提高大模板通用性,增强利用率,有效保证了混凝土浇筑效果,在质量、成本及环保方面都可取得良好效果,为高层建筑工程的科学施工产生积极影响,值得推广应用.     

电子束重复增量扫描生成三维结构的研究

针对三维曝光图形的结构特点,结合自行设计的图形发生器,提出了电子束重复增量扫描方式及曝光剂量与刻蚀深度关系和灵敏度的计算方法.根据计算得到的剂量关系,按照重复增量扫描方式,在SDS-3电子束曝光机上进行了曝光实验,显影后得到了轮廓清晰的梯锥和圆锥的三维结构.因此,重复增量扫描方式可以用于三维结构的加工,并且关于曝光剂量与刻蚀深度关系和灵敏度的计算可以为其提供符合实际曝光的参数.     

电子束在MEMS加工中邻近效应的分析与补偿

电子束刻蚀后,通过刻蚀改变了薄膜基片中的分子的重量,并导致希望曝光区域和实际曝光区域不一致,这一现象被称为“邻近效应”。利用SDS-3电子束曝光机完成有关邻近效应的试验。加工过程中加速电压为5～30kV,衬底基片为硅和PMMA,使校正后邻近效应参量η减少30％。给出实际完成基片图。     

考虑时效性和品质性满意度约束的易腐品冷链物流配送

针对易腐品冷链配送环节存在的成本高、碳排放量大、客户满意度低等问题,从易腐品配送的时效性和品质性两方面度量客户满意度,并以此为约束考虑配送过程中的固定成本、运输成本、货损成本、制冷成本、惩罚成本以及碳排放成本,构建以总成本最小为目标的易腐品冷链配送车辆路径优化模型,设计改进遗传算法求解优化模型,分析求解算法的复杂度.数值实验结果表明,所设计的求解算法总能获得总成本更低、产品新鲜度更高以及碳排放量更少的配送方案,同时表明改进的遗传算法相比于传统遗传算法在成本节约以及客户满意度提高方面具有一定优势,在一定程度上验证了所建模型的合理性及求解算法的有效性.     

高精度截面测量仪器研究

本文以轮对测量系统的开发实践过程为依据．对爬行测量设备的构成及工作原理进行了研究．给出了使用单片机进行数据处理的整个测量过程的数据处理过程，并探索研究了编码器分辨率、臂长及处理器速度等同类产品开发过程中将会遇到的关键问题。