多层模型计算椭偏法测量的SiO2／Si超薄膜厚度

采用不同的光学模型对厚度为6nm,密度为2．2g/cm2。的理想Si02薄膜理论曲线进行了拟合,得到了薄膜厚度的计算结果随所采取的薄膜密度变化的规律：选用更大的薄膜密度值进行拟合计算会得到更小的厚度结果,其趋势近似线性．参考GIXRR方法测量得到的薄膜物理结构的结果,给出了优化的拟合计算模型（薄膜密度为2．4g／cm3、表面粗糙度为0．4nin、界面粗糙度为0．3nin）,对于热氧化法制备的厚度小于10nrn的SiO2超薄膜,使用此模型进行拟合计算,可以得到比常规模型更为准确的厚度结果．采用优化的模型拟合了期望厚度为2,4,6,8,10nrn的si02超薄膜的SE实验曲线,得到的厚度结果分别为2．61,4．07,6．02,7．41,9．43nm,与传统模型计算结果相比,分别降低了13．8％,10．3％,8．1％,7．3％和6．6％．     

网络病毒综合预警系统的设计与实现

在互联网环境下，为了保证计算机的网络安全，尽早的发现新型网络病毒，并控制其蔓延，需要建立一套行之有效的网络病毒预警系统。针对网络病毒发作时会产生大量未知IP地址数据包这一特点，对其统计特性进行监控，及时发现异常变化从而对网络病毒进行实时报警。通过在计算机上的测试，证明该系统代码简单、检测精度高、速度快，能够适应复杂的网络环境。     

基于稀疏化LS-SVM的漏磁缺陷三维轮廓重构

漏磁缺陷轮廓重构是指由检测到的漏磁信号重构缺陷轮廓及参数,是实现漏磁反演的关键。将最小二乘支持向量机( LS-SVM)应用于漏磁缺陷的三维轮廓重构中,并对LS-SVM采取了稀疏化处理,将漏磁信号磁通密度法向分量Bz作为支持向量机网络的输入,缺陷的几何参数长度、宽度、深度作为输出,由实验测量数据和三维有限元仿真计算得到的仿真数据组建样本库。建立了由缺陷的漏磁信号到缺陷三维轮廓图的映射关系,实现了缺陷三维轮廓的重构。实验结果表明：该方法具有很高的精度和很好的泛化能力,同时对噪声也有一定容忍能力。