不同衬底上溅射Cu膜的表面形貌

采用磁控溅射工艺在石英、云母与Ti/Si衬底上制备100 nm厚Cu膜,并在300℃条件下进行原位退火.用原子力显微镜(AFM)观察薄膜表面形貌,基于粗糙度方法与分形理论对其量化表征.结果表明:分形维数Di比粗糙度Rrms更能准确地表征薄膜表面几何形态;石英衬底上Cu膜具有较为复杂的表面结构,其Df值大于沉积在云母和Ti/Si衬底上薄膜的;经过退火处理后,所有薄膜的表面形貌均趋于平滑化,Df值减小.     

双离子束法淀积类金刚石碳膜的结构特征

用双离子束法在低于50℃的单晶硅、玻璃、钼和不锈钢表面淀积了类金刚石碳膜。考察了多种工况下淀积膜的表面形貌、TED花样和Raman谱,表明这种膜是键参数有变化的由sp~3键和sp~2键混合组成的非晶态碳结构,其表面和内部还随机散布有立方金刚石微晶。本文还结合该膜电阻率和红外吸收谱的测试结果,分析讨论了离子辐照能量、离子密度、工质气体成分和基底材料对膜结构的影响。     

3．0μm～4．0μm全角度反射镜

分析了一维光子晶体的光子能带结构和禁带特性;然后利用光子禁带特性,设计了3.0～4.0μm全角度反射镜,给出了其反射光谱.     

平行向列相液晶法-珀滤光片的光学特性分析

采用一种简单、稳定的方法-差分迭代法对平行向列相液晶在外电场作用下指向矢的空间分布进行了模拟计算.在此基础上,利用琼斯矩阵方法对平行向列相液晶法布里-珀罗滤光片的本征偏振态及光学特性进行了研究.结果表明,平行向列相液晶法布里-珀罗滤光片的共振模式是两组互相垂直的线性偏振态,且具有调谐范围宽,偏振敏感等特点.     

用于激光直写灰度掩模的二元金属薄膜的制备及光学性质

利用磁控溅射方法制备了Zn／Al二元金属薄膜,得出了制备Zn／Al二元金属薄膜的工艺参数。论述了其在激光直写灰度掩模中的应用。     

氧化镁薄膜二次电子发射系数的测试方法

综述了氧化镁薄膜二次电子发射系数的主要测试方法,包括静电法、脉冲中和法、双枪法、热控法、单脉冲法以及PDP间接法等。阐述了各测试方法的原理以及在测试中各自的优点和不足。分析表明,脉冲中和法和双枪法比较适合用于测试氧化镁薄膜二次电子发射。     

薄膜应力的研究进展

薄膜应力对薄膜性能具有重要的影响。主要介绍了薄膜应力形成机理和应力实验的研究进展,并探讨了薄膜应力研究的发展趋势。通过选择适当的工艺条件以及表面处理可以改变薄膜的应力分布,提高薄膜的性能。     

空间用平板形菲涅耳透镜的设计和光学效率研究

研究平板形菲涅耳太阳聚光透镜的光学问题,给出了线聚焦和点聚焦透镜的设计方法,讨论了设计参数对透镜光学效率的影响,为这类透镜的最优设计提供理论依据。     

盒栅式倍增系统打拿极三维电场模拟计算

利用ANSYS软件对盒栅式倍增系统打拿极三维电场分布进行了建模,计算了打拿极附近电势分布情况。通过对比不同模型的计算结果,对影响盒栅式倍增系统打拿极电场分布的因素进行了研究。结果表明,打拿极的结构布局和栅网宽度对电场分布的影响较大。     

10.4—12.5μm单层红外增透膜的研究

红外光学薄膜的种类不但少，而且机械强度较差，尤其在中红外波段更是如此。根据薄膜光学理论计算了ＺｎＳ／Ｇｅ／ＺｎＳ、ＣｄＴｅ／Ｇｅ／ＣｄＴｅ和ＺｎＳｅ／Ｇｅ／ＺｎＳｅ三种ＡＲＣ组合的反射率和透射率。详细分析研究了吸收和色散对ＺｎＳ／Ｇｅ／ＺｎＳ极值透射率和反射率以及极值波长的影响。计算结果表明，ＺｎＳ／Ｇｅ／ＺｎＳ组合的光谱特性最好，吸收和色散对薄膜的光谱特性有一定影响。相对而言ＺｎＳ薄膜的机械强度较好。在理论计算的基础上，利用离子束辅助沉积方法制备ＺｎＳ薄膜，检测分析了薄膜的光谱性能，考察了薄膜的耐久性。