集成电路制备中化学机械全局平面化(CMP)后的表面清洗技术

论述了集成电路制备中CMP过程带来污染的重大危害,介绍了目前CMP后清洗所面临的两大新挑战,同时对CMP后清洗的现状做出了分析,提出了存在的问题,并且对未来清洗的方向进行了展望。     

酸直接溶样二安替吡啉甲烷光度法测定铝及铝合金中钛

2　结果与讨论2 1　吸收光谱Ti与DAM生成络合物的吸收光谱见图1。由图1可知络合物的最大吸收峰在390nm。图1　吸收光谱Fig 1　AbsorptioncurveⅠ 络合物(以试剂作参比);Ⅱ试剂(以水作参比)。2 2　盐酸加入量试样经HCl(1+1)溶解、加热、煮沸等步骤,母液中剩余的HCl(1+1)的量很少且几乎是相同的,故只考虑显色过程中加入HCl(1+1)的量对—28—2004年10月　　　　　　　　　　　　　　　　　冶　金　分　析吸光度的影响。结果表明,盐酸加入量在5mL以上,A值最大且趋向稳定,所以取盐酸加入量为5mL以达最佳效果并节约试剂。2 3　DAM加入量加…     

HZ缓蚀阻垢剂的研制与应用

针对j22、j58断块由于腐蚀结垢严重影响油田正常生产的问题,分析了油井采出水及垢物成分,弄清了油井腐蚀结垢的原因和类型。在此基础上,通过室内筛选、配伍等试验,研制出 HZ缓蚀阻垢剂。通过现场应用,缓蚀率达80%,阻垢率达95%以上,具有较好的缓蚀阻垢效果。     

加测陀螺定向边的井下导线平差方法探讨

分析两井定向与陀螺定向联合应用的必要性,推导两井定向与陀螺定向联合应用严密平差方法的条件方程式、法方程、求解公式及精度评定公式,并用实例验证这种方法的可行性及精度增益。     

宽范围高精度电子枪控制系统的研制

本文针对"1.2 MeV/10 mA高频高压型电子加速器及束线"项目中钨丝阴极热发射电子枪的控制需求,在了解了系统组成和工作原理的基础上,采用三极式平板热阴极发射电子枪,阴极材料使用钨丝,灯丝加热电源由发电机供电,引出电压从加速管电极分压获得。通过设计一种基于可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller,PLC)的控制系统,实现了电子枪引出1μA～50 mA 4个数量级范围的直流电子束。该控制系统采用PLC作为设备控制器,LabVIEW软件作为用户界面,通过通信协议(Object Linking and Embedding for Process Control,OPC)接口实现控制软件与设备控制器的通讯。实验测试表明,系统具有可靠稳定、灵活高效等特点。     

新型复合缓蚀剂对青铜文物的防腐蚀研究

为评价苯骈三氮唑(BTA)和甲酸钠(SFA)复合缓蚀剂对青铜文物的防腐保护能力,利用电化学方法研究了复合缓蚀剂对青铜试样在3％(质量分数)NaCl溶液中电化学行为的影响,并通过X射线光电子能谱技术(XPS)分析了复合缓蚀剂对青铜表面膜成分的影响.结果表明,SFA的加入增强了BTA对青铜的腐蚀抑制作用,提高了青铜表面膜电...     

抛光液组分对3D微同轴中铜和光刻胶化学机械抛光速率选择性的影响

研究了碱性抛光液的pH、SiO₂磨料质量分数、H₂O₂体积分数和甘氨酸质量分数对3D微同轴加工中铜和光刻胶化学机械抛光(CMP)去除速率的影响,得到较佳的抛光液组成为：SiO₂ 5%,H₂O₂ 20 mL/L,甘氨酸2.5%,pH=10。采用该抛光液时,铜和光刻胶的去除速率非常接近,满足3D微同轴加工对铜和光刻胶CMP去除速率选择性的要求。     

膨胀机跳车事故原因分析及解决措施

介绍了马钢20000 m~3/h制氧机膨胀机跳车事故,从电气与控制方面阐述分析了事故原因,通过优化膨胀机控制程序及接线跳车联锁,配置UPS电源及防晃电接触器等措施,解决了膨胀机跳车故障。     

脉冲激光光敏疗法医治中晚期癌症156例

采用脉冲激光光敏疗法医治中晚期癌症,有效率91.6％,总缓解率42.8％。讨论了疗效与输出功率、光照时间的关系,适应症的选择,综合治疗及重复治疗的时间等。