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31.
本文研究了用于光学精密测量的光热光频调制半导体激光干涉仪中,光强调制度与调制频率和激光器注入电流的关系。实验数据表明,光强调制度随激光器偏置电流的增加而加深,随调制频率的升高而减小,其变化规律与理论结果一致。  相似文献   
32.
用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪   总被引:16,自引:5,他引:11  
在光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上 ,提出了一种扩大其测量范围的方法 ,使得在保持纳米精度的前提下 ,测量范围由半个波长扩大为 12 5 5 6 μm ,并讨论了进一步扩大测量范围的可能性。本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证  相似文献   
33.
利用光照射半导体激光器而改变其结温的方法,可精确地控制激光的频移幅度。理论分析表明频移幅度与调制频率、热时间常数和半导体激光器的偏置电流等物理量有关。选择恰当的物理参数可满足正弦相位调制干涉仪最佳测量条件。  相似文献   
34.
光热调制激光波长测量物体的微小振动   总被引:1,自引:1,他引:0  
提出了一种新型半导体激光正弦相位调制干涉仪。使用此干涉仪测量了物体的微小振动。利用光热效应调制光源波长降低了光源光强变化引起的测量误差。模拟计算和实验结果证明了此干涉仪的有用性  相似文献   
35.
光纤光栅外腔半导体激光器的实验研究   总被引:11,自引:0,他引:11  
利用光纤光栅作为选频元件的外腔半导体激光器具有波长稳定性和可控性好等优点。报道了该激光器的关键工艺 ,主要是光纤光栅制备、芯片的腔面增透和光纤耦合封装等。报道了初步的实验结果。  相似文献   
36.
讨论了步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术 ,详细阐述了步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制原理 ,提出了一种曝光剂量控制算法。实验表明 ,应用此剂量控制技术使系统的曝光剂量控制精度达到 1.3 7% ,剂量重复精度达到 0 .3 1% ,满足亚半微米光刻图形的曝光剂量控制要求  相似文献   
37.
半导体激光微小振动实时反馈式干涉测量仪   总被引:8,自引:3,他引:5  
提出了一种带有反馈系统的半导体激光正弦相位调制干涉仪。该干涉仪可以实现对微小振动的高精度实时测量。通过一个简单的信号处理系统对干涉信号进行分析 ,获得实际振动的振幅和频率。由于引入反馈系统 ,减低了测量误差 ,排除了环境噪声的影响。给出了具体的理论分析和实验结果  相似文献   
38.
针对光学测量投影仪测量圆形工件时圆度指标的图形表示,提出了一种几何投影变换方法,将原非单调区间的离散点投影在某单调区间内,在此单调区间内运用插值算法进行曲线拟合后,再对数据进行反向投影,使得原非单调区间内离散点光滑地连接起来,使圆度的图形表示更加合理。几何投影变换方法克服了一些用于连接离散数据点的插值算法不能在非单调区间使用的局限性,拓展了上述算法的应用范围。  相似文献   
39.
南楠  步鹏  郭昕  王向朝 《中国激光》2012,39(7):704002-125
基于正弦相位调制建立了用于人体皮肤在体三维成像的全深度复频域光学相干层析(FDOCT)成像系统。通过在不同横向位置获取的干涉谱信号中引入正弦相位调制,利用傅里叶变换结合带通滤波的方法重建复干涉谱信号,使成像深度范围扩大为原来的两倍,且适合对活体组织进行在体成像。通过优化相位调制周期内的采样点数,提高了镜像抑制比。基于该系统在体获得了人体皮肤的三维全深度层析图,图中角质层、表皮层及真皮乳突层等皮肤层状结构清晰可见,镜像消除比约为36dB。  相似文献   
40.
脉冲啁啾对相位共轭通信系统性能的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
数值模拟了线性啁啾高斯脉冲在光纤中的传输演化过程,分析了线性啁啾高斯脉冲的传输特性。结果表明,脉冲啁啾不会影响中置相位共轭系统对色散和非线性效应导致的信号失真的完全补偿;单模光纤中啁啾将导致脉冲信号产生初期窄化和末期窄化过程,这种传输特性可用来优化相位共轭系统的总体结构设计,进一步改善和提高系统的补偿性能。  相似文献   
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