排序方式: 共有107条查询结果,搜索用时 312 毫秒
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讨论了接触式激光干涉议的数据采集与处理系统,其特点是性能稳定,操作灵活。实验证明,该系统满足仪器分辨率为0.01μm,重复性误差在0.03μm以内的要求。 相似文献
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