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聚酰亚胺材料在微电子工业中的应用 总被引:7,自引:0,他引:7
介绍了高纯度高性能聚酰亚胺材料在集成电路及微电子工业中的应用,包括α粒子的遮挡层膜、微电子器件的钝化层和缓冲内涂层,多层金属互联电路的层间介电材料和多芯片模块多层互联基板的介电材料和接点涂层膜。 相似文献
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分别采用两种联苯型二酐单体,对称结构的3,3',4,4'-联苯四甲酸二酐(s-BPDA)以及不对称结构的2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐(a-BPDA)与含氟芳香族二胺1,4-双(4'-氨基-2'-三氟甲基苯氧基)联苯(TFDAB)通过两步缩聚法制备了两种聚酰亚胺材料PI-1(s-BPDA/TFDAB)与PI-2(a-BPDA/TFDAB).研究结果表明,不对称结构可以显著增加PI薄膜在可见光区的透明性.25μm厚的PI-2薄膜在450nm处的透光率达到93%,而同样厚度的PI-1薄膜的透光率只有67%.此外,在PI分子结构中引入不对称结构不会牺牲材料的耐热稳定性、力学性能与介电性能. 相似文献
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正性光敏聚酰亚胺(P—PSPI)是一类重要的集成电路(IC)封装材料,广泛用于IC器件的应力缓冲、表面钝化以及层间绝缘。与传统的负性光敏聚酰亚胺(n—PSPI)相比,P-PSPI无论在光刻精度还是环境友好性方面均表现出了更为优良的品质。文章综述了国内外P—PSPI电子封装材料的最新研究与应用进展状况。系统阐述了P—PSPI的光化学机理。对目前商业化P—PSPI产品的特性、在微电子以及光电子领域的应用和未来发展趋势进行了介绍。最后对国内高性能P—PSPI电子材料的研发工作提出了建议。 相似文献