用于各向同性湿法刻蚀中的氮化硅掩膜

在硅的各向同性湿法刻蚀过程中,一般选用HNA溶液(即氢氟酸、硝酸和乙酸的混合溶液)作为刻蚀液,而氮化硅以其很好的耐刻蚀性而优先被选为顶层掩膜材料.在硅片上刻蚀不同的结构,通常需要选择不同的刻蚀液配比.而不同配比对于氮化硅掩膜的刻蚀速率也不一样.分别用PECVD和LPCVD两种方法在<111>型硅片上沉积了厚度为560和210 nm的氮化硅薄膜,研究和对比了它们在8种典型配比刻蚀液下的刻蚀速率,为合理制作所需要厚度的氮化硅掩膜提供有益参考.     

一体双驱对称式压电悬臂梁微驱动器

设计了一种一体化加工的双驱对称式压电悬臂梁微驱动器。对压电驱动器工作原理、压电驱动器在准静态工况与共振工况下的输出特性进行了理论分析,确定压电驱动器几何尺寸。介绍了压电驱动器的多层复合结构与一体双驱的实现方式。制作了压电驱动器样机,并通过有限元仿真分析与测试实验相结合的方式得到压电驱动器的阻抗特性与输出特性曲线。将压电驱动器运用在轮式机器人,验证了设计的可行性。     

特低渗油藏不同注水时机开发效果的影响

注水时机对油田的开发效果有着重要的影响,研究确定特低渗油藏注水时机,对延长油田稳产时间以及提高采收率都十分重要[1]。本文通过对定边油田卜掌油区不同注水时机的递减率、示踪剂、见效时长等进行了对比。研究结果表明:超前注水能够尽快建立有效的压力驱替系统,及时补充地层能量,油井投产后,产量较高且稳定,初期递减小;超前注水保持较高的地层压力,可降低因地层压力下降造成的地层伤害;超前注水提高了驱替压力、驱油效率、波及体积,可提高最终采收率。     

扑翼微飞行器紫外激光加工技术

为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工,运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术,以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺,通过合理安排工艺流程,实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术.并将其应用于扑翼微飞行器的加工,得到了一个翼展3 cm,最小尺寸为80 μm的飞行器样机.     

XB—500（Ⅱ）型泵箱保护系统分析

介绍了AM－500采煤机泵箱国产化改造的方案和实施效果，对XB－500（Ⅱ）型泵箱的液压保护系统进行了分析，以保证采煤机能够在较为安全可靠的条件下工作。     

基于贪心原则的传感器网络多重覆盖增强算法

覆盖问题反映传感器网络的感知能力.许多应用场合需要对感兴趣区域进行多覆盖,然而目前大部分的算法仅解决了一重覆盖增强问题.提出了一种给邻域内的节点设置优先级并且依据局部贪心原则使得受虚拟力最大的节点率先移动的k重覆盖增强算法(KCEGA).利用k重覆盖判定算法(KCDA),计算节点自身周界覆盖度以及节点所受的虚拟力大小,并利用贪心原则提高节点移动效率,减少算法迭代次数.仿真结果表明:该方法较随机部署的传感器网络k重覆盖度有了大幅提升,且KCEGA比KCEA具有更快的收敛速度,节约了网络能量.     

一种陶瓷复合吸波材料的表面分形表征及其性能研究

通过RCS(雷达截面)综合测试系统,对实验室自制的陶瓷复合吸波材料的吸波性能与材料表面形貌进行研究,结果表明:(1)陶瓷复合吸波材料表面存在分形的重要特征,所制3块材料的表面灰度分维数分别为2.3602、2.3907、2.6255;(2)实验频率范围内,陶瓷复合吸波材料的相对反射率与发射频率存在显著线性关系;(3)随着发射频率的升高,不同表面形貌的材料的相对反射率的升高速率不同;(4)陶瓷复合吸波材料的相对反射率随发射频率的变化速率(斜率)与材料表面分维数存在极其显著的线性相关性.     

准噶尔盆地中部1区块三工河组基准面旋回划分

准噶尔盆地中部1区块（准中1区块）侏罗系三工河组是陆相地层油气勘探的热点层位。在三工河组沉积时期,准中1区块沉积了一套较为稳定的浅水三角洲—滨湖相地层。准噶尔盆地在早侏罗世处于张性构造环境,盆地具有盆大、水浅和坡缓等沉积特征,在盆地腹部的地震剖面中较难进行高分辨率层序地层对比。通过对自然伽马测井曲线进行小波变换和合成预测误差滤波分析,实现高分辨率层序地层划分。在单井中识别出小波变换最佳尺度因子（a）,分别对应短期旋回、中期旋回和长期旋回,尺度因子的能量越大,自然伽马测井曲线值变化越剧烈,判定为水进面或者水退面。基于合成预测误差滤波分析技术,三工河组中识别出负拐点和正拐点,负拐点指示层序界面,也有可能是最大水泛面;正拐点指示初始水泛面。依据合成预测误差滤波曲线的负趋势和正趋势,判别沉积地层的旋回性。准中1区块三工河组基准面分析,证实了小波变换和合成预测误差滤波分析在沉积环境稳定的陆相地层研究中具有较好的适用效果和应用前景。根据基准面旋回的变化分析沉积过程,指出三工河组二段是主要砂体发育层位,是重点的勘探方向。     

渤海湾盆地新北油田古近系油气成藏特征

新北油田位于渤海湾盆地垦东凸起北部,勘探程度较低。为认识新北油田古近系成藏规律,通过对该区古近系地层展布分析、单井相分析、连井剖面对比以及针对油气来源、输导路径、圈闭和油藏类型分析得出以下结论:新北油田古近系沙河街组和东营组地层自北向南层层超覆于垦东凸起之上,其中沙河街组以滨浅湖滩坝沉积为主,东营组6砂组发育近岸水下扇沉积相,东营5-1砂组发育扇三角洲沉积相;受沉积相控制,沙河街组与东营组6砂组储层主要沿湖盆边缘展布,东营5-1砂组储层全区发育;储层与断层、不整合面配置发育了构造、地层超覆和岩性上倾尖灭圈闭;来自桩东凹陷的油气,沿断层、砂体以及不整合面进入圈闭,形成了构造、地层超覆以及岩性上倾尖灭油气藏。     

用安捷伦4395A扩频测量铝电解电容器频率特性

频率特性是电容器重要的电气特性,它是设计电路的基础,可通过阻抗分析仪获得。研究采用Agilent4395A阻抗分析仪扩频测量铝电解电容器频率特性及其电气参数的方法具有实际意义。实测证明,用Agilent4395A扩频测量铝电解电容器频率特性是有条件的,测量结果是准确的。