一种新型光刻系统的研究

介绍了一种新型的光刻系统－－全内反射全息光刻系统。着重讨论了设计该系统时的几个重要因素,给出了用该系统开展的实验研究结果。     

通过控制原子实现纳米图形制作研究

基于激光冷却和捕获原子的原理,初步探讨了利用原子进行纳米量级图形制作的基本原理和实验研究。研究结果表明,此可实现分辨率高达几个纳米大小的超微细图形制作,制作效率极高。     

微光刻技术的发展

阐述了光刻技术的发展及其分辨极限,对准分子激光光刻技术及其发展作了比较详细的论述。     

全息信息存贮实验系统的研制

本文介绍一种激光全息信息存贮实验系统,包括光路分析、主要机械装置、电控功能、系统特点及实验结果等方面。此系统利用付里叶变换全息图的原理,将胶片上的图象信息以点阵全息图的形式存贮在全息干板上,并用电子控制装置使全息图的记录和再现过程都能自动进行。     

机器视觉可望用于机器人

第一代机器人基本上是具有有限动力功能的机器。第二代机器人具有多种信息功能。现在,第三代装置则具有动力和信息能力。当前,具有机器视觉及复杂而完善的软件的机器人具有智能,即适应环境、了解和对付抽象思维的能力。机器视觉是指将电子成像技术应用于需要模拟人的图像识别能力的装置。视觉系统提供了三种功能:证明物体的存在,量测图像的特征(位置、几何结构及光强分布)和识别物体。     

热电探测器和热电成像

红外传感器和红外成像用热电晶体的改进包括发展用电离辐射或掺杂方法的同步极化和在宽的频率和温度范围内增大探测率.热电探测器正在被用于线阵热成像系统、辐射计、焦平面调制盘(reticle)扫描器和高速光谱仪.对红外成像与日俱增的需求以及随着大型镶嵌微型芯片的成熟,已经加速了固体热电成像器件的发展.     

光刻技术及其极限和发展前景

介绍了一些新的光刻技术及光刻技术的极限和发展前景。     

衰减相移掩模光刻技术研究

论述了衰减相移掩模光刻技术的原理和曝光实验研究,给出了光刻曝光实验部分结果,并与我刻方法作了比较。     

用象管设计成象系统

六十多年来,真空管对最难对付的很多技术问题已经提供了最有效的解决办法。如今,它们仍然在广泛使用。尽管出现了固体器件,但真空管仍然支配着很多应用。其中之一是微光成象和光增强。象增强器虽然也可以把光转换成电信号,但它们主要是用于增强光信号。固体器件一般不能增强光信号。在固体光电探测器中,只有雪崩二极管能产生佶号增强,但是,它们的尺寸小,限制了在成象方面的应用。     

激光在微电子器件制造中的应用

本文比较系统地介绍了激光在半导体微电子器件制造中的应用。对准分子激光器与光刻技术、激光图形发生,全息掩模与硅片检测、掩模缺陷激光修补与激光化学气相沉积,以及其它方面的一些激光应用作了比较详细的叙述。