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通过分别改变电感耦合等离子体(ICP)刻蚀过程中的ICP功率和DC偏压,对ICP刻蚀GaN材料的工艺条件和损伤情况进行了系统的研究。刻蚀后表面的损伤和形貌通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、电子能谱(EDS)、荧光光谱(PL)等技术进行表征和分析。实验结果表明,刻蚀速率随ICP功率和DC偏压的增加而增加;刻蚀损伤与DC偏压成正比,而与ICP功率的关系较为复杂。实验中观测到刻蚀后GaN样品的荧光光谱带边发射峰和黄带发射峰的强度均有明显下降,这意味着刻蚀产生的缺陷中存在非辐射复合中心,并且该非辐射复合中心的密度与DC偏压成正比。为了兼顾高刻蚀速率和低刻蚀损伤,建议使用高ICP功率(450 W)和低DC偏压(300 V)进行ICP刻蚀。 相似文献
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GaN纳米线材料的特性和制备技术 总被引:3,自引:0,他引:3
GaN是一种具有优越热稳定性和化学性质的宽禁带半导体材料,这种材料及相关器件可以工作在高温、高辐射等恶劣环境中,并可用于大功率微波器件.最近几年,由于GaN蓝光二极管的成功研制,使GaN成为了化合物半导体领域中最热门的研究课题.简要介绍了GaN纳米线材料的制备技术;综述了GaN纳米线材料的制备结果和特性.用CVD法研制的GaN纳米线的直径已经达到5~12nm,长度达到几百个微米.纳米线具有GaN的六方纤锌矿结构,其PL谱具有宽的发射峰,谱峰中心在420nm.GaN纳米线已经在肖特基二极管的研制中得到应用. 相似文献
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报道了对LEC法生长的SI-GaAs单晶热稳定性检测结果,在800℃以上温度条件下退火,发现GaAs单晶的热稳定不但与处理的条件有关,还与单晶中杂质C的含量有关。 相似文献