Z=1Z=2齿轮的制齿精度及检测

根据Z=1，Z=2齿轮的传动、结构特性，结合实例分析几个常用制齿精度的设计和检测问题，可得出：（1）Z=2齿轮用齿距分度误差凸φt或齿距偏差ΔFpt替代失去检测意义的齿距累积误差ΔFp，并应紧缩ΔFpt的公差带；（2）用1齿跨齿数公法线长度替代固定弦齿厚；（3）对Z=2齿轮可检测跨齿数为1和2两种公法线长度。针对Z=1，Z=2齿轮理论跨齿数与实际跨齿数相对差值比很大，及项圆削顶和根圆直径大幅度增加，推导了判断公法线长度是否可测的计算式。一、少齿数主动齿轮的特点主动齿轮齿数Z=1或Z=2的齿轮减速装置的突出特点是；传动比大（单级传…     

基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法

针对含复杂结构的MEMS器件,提出基于异构宏模型的系统级建模方法,即将基于解析法和基于数值计算的宏建模方法结合起来提取复杂器件的参数化宏模型,在此基础上实现MEMS系统级仿真。以z轴加速度计为例,在Saber中进行其系统级的时域、频域仿真,将仿真结果与有限元分析进行了比较,其仿真时间小于3min,相对误差小于3%,表明该方法能够快速有效地实现复杂结构MEMS器件的系统级仿真。     

基于AutoCAD的拉刀全参数化图形自动绘制

基于AutoCAD的绘图平台 ,借助于VBA集成开发环境与拉刀信息模型和知识库 ,建立面向对象的特征库 ,实现将拉刀设计参数从拉刀设计结果数据库中取出并完成拉刀参数化图形自动绘制。同时介绍了系统开发时遇到的关键问题及其解决方法     

一种用电晕放电仪实现PDMS改性与键合方法

聚二甲基硅氧烷(PDMS)的表面改性与键合是微流控芯片制作中的关键技术之一。本文比较分析了PDMS常用表面改性方法的优缺点,利用电晕放电仪在常温环境下产生的氧等离子体实现了对PDMS表面改性及不可逆键合,优化了电晕放电仪的表面处理参数,重点测试了PDMS分别与PDMS和PMMA之间的键合强度。并与紫外照射、表面活化剂等表面改性方法得到的键合进行了强度比较。键合强度测试结果表明:常温下氧等离子体表面改性效果略逊于真空环境中的氧等离子体表面处理,但是其键合强度达到700KPa,高于其它表面改性方法的键合强度。     

基于Krylov子空间投影法的MEMS宏建模方法

基于Krylov子空间投影法结合有限元分析(FEA)建立了一种宏模型提取方法,以便能够在系统级快速地建立器件宏模型.这种方法通过对整个2D或3D器件有限元分析的结果提取宏模型.基于这种方法建立的宏模型具有计算代价低、精度合适的特点,而且能方便地插入到系统级仿真器进行仿真.文中通过一个谐振器结构阐释了这一方法,并且针对所建立的谐振器结构宏模型进行了精确性验证.     

压阻式微型压力传感器敏感结构设计

在设计某一压阻式压力传感器特定敏感结构的过程中,对出现的技术难题进行了研究。文中的第2部分设计了弹性膜片的典型结构;第3部分设计了压敏电阻的尺寸以及阻值;第4部分使用ANSYS软件分析了弹性膜片在不同压力作用下的应力、应变分布,确定了压敏电阻在弹性膜片上的最佳分布位置。分析结果表明:压敏电阻距离弹性膜片边缘越近,灵敏度越高。同时计算了不同外界压力载荷和不同位置条件下压敏电阻的电压输出变化情况,提取了敏感膜片的固有频率和响应时间。文中响应时间曲线表明:所设计的微型压阻式压力传感器响应速度快,稳定时间仅为1.0×10~(-5)s。     

大冲程低PV值的分立式微变形镜结构设计研究

针对微变形镜镜面残余应力变形问题，使用数值法分析了多晶硅层和金属层不等面积的双层微机械薄膜残余应力影响下的变形情况，得到了变形-金属膜尺寸的关系曲线，确定了特定应力下最佳的金属反射面大小；此外，还利用弹性系数可变的折叠梁对分立式微变形镜单元的静电力驱动进行了改进，有效地增大了分立式微变形镜的冲程，使其能对近红外光进行校正。     

一种用于流动控制的MEMS微致动器研究

设计制作了一种基于M EM S技术的微气泡型致动器,并对前缘布置有微致动器的三角翼进行了数值模拟,结果表明:微致动器可以改变三角翼前缘的旋涡流状态,扰动边界层分离,改变三角翼前缘分离涡的位置,合理布置微致动器可以获得一定的俯仰、滚转和偏航力矩,利用微致动器成功进行分离涡流控制。     

染料敏化纳米晶TiO2太阳能电池

介绍了染料敏化纳米晶TiO2太阳能电池的结构,工作原理,技术指标以及TiO2纳米膜的制备方法.阐述了敏化纳米晶太阳能电池相比于硅太阳电池的低成本及优于其它光电化学电池的关键技术.讨论了影响NPC电池总的光电转换效率的因素,并对有机染料和无机染料光敏化剂的选择及染料的敏化问题进行了论述,在此基础上提出了将其商业化的一些值得深入研究和需要解决的问题.     

4H-SiC肖特基结式Alpha效应微型核电池

阐述了一种4H-SiC肖特基结式Alpha效应微型核电池.利用Schottky结取代常用的p-n结,在活度为0.025mCi/cm2的241Am源辐照下进行测试,得到了开路电压Voc为0.25 V、短路电流密度氏为7.64 nA/cm2和输出功率密度Pmax为1.12 nW/cm2.在对4H-SiC肖特基结研制过程中的一些关键工艺进行研究之后,采用XRD法对欧姆接触成分进行了分析,结果表明形成了二元合金相Ni2Si.为了防止界面态密度的提高而导致漏电流增大,肖特基结的设计和加工过程都要严格控制污染源.考虑了所讨论的几个重要影响因素之外,可通过更换大活度放射源、高效地收集方式和提高工艺质量等方式来提高电池的性能.