Pyrex 7740玻璃深刻蚀掩模研究

玻璃湿法深刻蚀掩模常采用低压化学气相沉积(LPCVD)多晶硅、Cr/Au金属层+光刻胶等,但往往会在玻璃中引入应力,影响后期应用(如阳极键合),而且Cr/Au金属层价格昂贵。为避免以上缺点,引入了SX AR—PC 5000/40保护胶+WBR2075干膜作为玻璃的刻蚀掩模,在HF︰NH4F,HF︰HCl,HF︰HCl︰NH4F刻蚀溶液中进行了大量实验。实验结果表明:SX AR—PC 5000/40抗腐蚀能力强,且成功实现了对Pyrex 7740玻璃131μm的深刻蚀。整个工艺过程与IC工艺兼容,可以进行圆片级批量加工。实验结果对圆片级封装和其他MEMS器件的制作有一定参考作用。     

蠕动微机器人的电流变结构智能化与运动模型研究

本文根据仿生学原理，提出了在电致伸缩陶瓷致动条件下借助电流变技术实现蠕动微机器人结构智能化的方法，并讨论了其运动模型及机制。     

微技术的研究现状与发展趋势

阐述了微技术的研究内容，现状及发展趋势。     

非晶态聚合物已加工表面的粘弹性流变模型

借助切削过程的动态观察方法并结合非晶态聚合物的粘弹性特征，建立了已加工表面的流变模型，并讨论了影响已加工表面质量的各种因素．     

微机械器件形状与尺寸的图像测量研究

采用面阵CCD作为图像传感器,结合微机械器件结构尺寸的测量特点,建立非接触式无损图像测量系统,并给出了典型平面几何尺寸的测量原理和算法.试验结果表明系统具有良好的稳定性和较高的精度.     

基于Agent的微型工厂加工过程仿真研究

文章开展了针对以准分子激光直写刻蚀加工方法为主要加工手段,以微集成机构(Integrated Mechanism,IM)为产品对象的桌面式微型工厂(Micro-factory)加工过程仿真的研究,得出基于Agent的方法对微型工厂中的激光加工过程进行仿真是较为有效方法的结论,指出基于Agent加工过程的仿真模型包括建立设备模型、产品模型和工艺模型等几个方面,并讨论了采用Agent方法进行加工过程仿真的分析和实现方法。     

基于∑-△M的五阶MFLR数字微加速度计闭环控制系统

为了进一步抑制加速度计信号带宽范围内的噪声,提出并设计了一种基于∑-△M的五阶多反馈谐振式（MFLR）微机械加速度计闭环控制系统,该系统通过增加额外的内部负反馈对量化噪声进行再一次整形.微机械加速度计结构为一种全差分式结构,在结构层厚度为60 μm、基底层厚度为400μm的SOI硅片上,经过光刻、溅射、深度反应离子刻蚀等工艺步骤加工而成.整个闭环控制系统的Matlab/Simulink模型首先被建立,然后采用“单位圆分析法”进行系统参数的设定,系统仿真显示：当输入幅值1gn、频率128Hz的加速度信号时,加速度计的噪声为-136.2 dB,与传统五阶MF结构的∑-△M闭环控制系统相比,在0 ～500 Hz信号带宽范围内的噪声降低了7.9dB.最后整个系统在四层PCB电路板上进行了功能性验证和测试.     

Z=1Z=2齿轮的制齿精度及检测

根据Z=1，Z=2齿轮的传动、结构特性，结合实例分析几个常用制齿精度的设计和检测问题，可得出：（1）Z=2齿轮用齿距分度误差凸φt或齿距偏差ΔFpt替代失去检测意义的齿距累积误差ΔFp，并应紧缩ΔFpt的公差带；（2）用1齿跨齿数公法线长度替代固定弦齿厚；（3）对Z=2齿轮可检测跨齿数为1和2两种公法线长度。针对Z=1，Z=2齿轮理论跨齿数与实际跨齿数相对差值比很大，及项圆削顶和根圆直径大幅度增加，推导了判断公法线长度是否可测的计算式。一、少齿数主动齿轮的特点主动齿轮齿数Z=1或Z=2的齿轮减速装置的突出特点是；传动比大（单级传…     

基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法

针对含复杂结构的MEMS器件,提出基于异构宏模型的系统级建模方法,即将基于解析法和基于数值计算的宏建模方法结合起来提取复杂器件的参数化宏模型,在此基础上实现MEMS系统级仿真。以z轴加速度计为例,在Saber中进行其系统级的时域、频域仿真,将仿真结果与有限元分析进行了比较,其仿真时间小于3min,相对误差小于3%,表明该方法能够快速有效地实现复杂结构MEMS器件的系统级仿真。     

纳机电系统研究进展

综述了纳机电系统（NEMS）的研究进展;介绍了美国与欧洲在NEMS军用和航空航天领域的研究目标和进展,以及一些典型NEMS器件的应用;讨论了NEMS检测与表征技术以及NEMS制造技术;探讨了NEMS研究发展趋势。