AlN/CNT吸波陶瓷的制备及性能研究

研究了AlN/CNT复相陶瓷的致密化、热传导和介电性能,结果表明,采用SPS能够降低材料的烧结难度,促进AlN晶粒充分长大和氧杂质的去除,改善热导率,在Ka波段(26.5-40.0GHz),介电常数实部与烧结温度无关,虚部则由于高温烧结导致CNT结构坍塌而下降,适当的CNT量和烧结温度能够兼顾介电损耗、高热导率以及适中的介电常数。     

纯水基溶胶-凝胶法制备HfO_2纳米超薄膜

微电子工业的发展提出了不断提高集成电路芯片上多种器件电容密度的迫切需求,因此开展厚度10nm超薄HfO2高-k电介质薄膜的可控制备技术研究具有重要意义。以氯氧化铪、硝酸和双氧水为主要试剂配制了纯水基溶胶前驱体,使用去离子水对溶胶进行适当稀释后,采用旋涂法在经等离子体清洗的硅基片上制备HfO2薄膜。以XRR、AFM以及XPS为主要手段对薄膜样品的厚度、表面形貌以及化学成分进行了分析,结果表明这种新颖的溶胶-凝胶技术可将薄膜的沉积速率控制在每旋涂周期1nm以下,薄膜表面平整致密,成分符合化学计量比。     

制备参数对Mn-Ce-W/TiO2催化剂脱硝性能的影响

采用浸渍法制备了一系列Mn-Ce-W/TiO2催化剂,研究分析了一步浸渍和分步浸顺序、W含量、焙烧温度等制备参数对催化剂脱硝性能的影响.结果表明:添加W有助于稳定TiO2晶体结构,提高TiO2的相变温度,从而抑制TiO2由锐钛矿型向金红石型的转变,提高催化剂的脱硝效率.浸渍顺序应先钨后Mn、Ce,W的添加量为5%,在450 ℃焙烧得到的催化剂的脱硝效率最佳.     

3-UPU柔顺并联机构构型拓扑优化设计与实验测试

目的为了设计出具有x,y和z方向纯平动的微纳级精密定位装置。方法首先,运用旋量与逆螺旋理验证所设计的传统3-UPU并联机构运动特性;采用封闭矢量映射原理构建3-UPU并联机构的微分Jacobian,实现各关节与动平台的空间映射关系。然后,定义优化问题的目标函数为结构刚度,约束函数为体积比,运动特性条件为微分Jacobian构造3-UPU柔顺并联机构的SIMP模型,并运用优化算法计算。最后,基于Ossmooth对优化构型进行CAD模型的提取,完成运动特性的力学仿真分析,此外,通过3D打印制造处理后的CAD模型,并完成运动特性的实验测试。结果仿真可得,优化后的构型柔度值从58.324 mm/N下降到25.993 mm/N;一阶固有频率从964.64 Hz提高到1362.26 Hz;沿x,y和z方向的微运动特性分别达到2.488,6.512,9.185μm;3-UPU柔顺并联机构优化构型的微运动特性与理论解处于同一微米级,并运用实验测试进行了验证。结论拓扑优化设计的构型具有微米级运动特性和微米定位精度,实验测试结果验证了该优化技术的可行性。     

光刻机用精密碳化硅陶瓷部件制备技术

本文介绍了光刻机用碳化硅陶瓷结构件的特点及其对材料的要求,分析了碳化硅陶瓷在光刻机中作为结构件材料使用的优势,着重介绍了中国建筑材料科学研究总院在精密碳化硅结构件的制备领域所取得的技术成果,列举了精密碳化硅结构件在光刻机等集成电路制造关键装备中的应用。     

掺杂Sn对V/UiO-66催化剂抗碱金属性能的影响

采用浸渍法,以UiO-66为载体,制备了V/UiO-66及改性Sn-V/UiO-66催化剂,并对催化剂的碱金属钾中毒进行了模拟,探讨了钒钛催化剂的反应机理和失活机理。结果表明,K负载后催化剂的晶型变化不大并且催化剂比表面积的变化呈现不规律波动。负载了碱金属以后,催化剂的金属氧化还原性能和表面酸量迅速降低,这是催化剂活性降低的主要原因。添加Sn能够增强VO_x与其他组分的相互作用,进而提高VO_x的可还原性及V⁵⁺的占比,使Sn-V/UiO-66催化剂表面的VO_x提供更多的酸性位点。中毒后的K-Sn-V/UiO-66催化剂仍然具有较高的总酸量和较强的氧化还原性,表明Sn-V/UiO-66催化剂具有优异的抗碱金属中毒能力。     

制备方法对低温NH3-SCR催化剂Mn-La结构与性能的影响

采用固相反应法、共沉淀法制备了Mn-La复合氧化物催化剂,考察了制备方法对催化剂脱硝性能及抗SO₂/H₂O性能的影响。并通过XRD、BET、H₂-TPR、NH₃-TPD、XPS等手段对催化剂的结构和物理化学特性进行了表征。结果表明,La掺杂降低了MnO_x的结晶度,增大了催化剂的比表面积和孔体积。Mn-O-La键合作用促进了锰在催化剂表面的分散,而高分散的锰更容易被还原,催化剂的还原温度向低温方向迁移,氧化还原能力得到提高。掺杂La之后,催化剂表面Br?nsted酸和总酸量增加,同时Mn⁴⁺和表面化学吸附氧的浓度也得到提高。因此,La掺杂有利于促进催化剂的脱硝活性。反应评价结果表明,共沉淀法制备的MnLa-CPM催化剂表现出最佳的脱硝效率,在80 ℃时脱硝效率接近100%。在H₂O和SO₂存在的条件下,MnLa-CPM催化剂的脱硝效率仍能达到80%,表现出了较好的抗硫水性能。