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溅射参数对SmCo/Cr薄膜铬底层晶面取向及磁学性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
采用直流磁控溅射法制备SmCo/Cr薄膜磁记录材料,通过改变Cr底层制备过程中的功率、靶基距、溅射压强和溅射时间,得到了磁性能不同的SmCo/Cr薄膜。利用X射线衍射法对Cr底层晶面取向和磁控溅射参数之间的关系进行了研究,结果表明:如果改变溅射参数,使沉积cr原子获得较大的能量,则有利于Cr底层最终以(110)晶面择优取向。本实验中Cr底层以(110)晶面择优取向的最佳实验条件为:溅射功率在50~70w左右,靶基距为6cm,压强为0.5Pa,溅射时间为15min。利用振动样品磁强计(VSM)测定SmCo/Cr薄膜的磁学性能,结果表明,如果Cr底层能以(110)晶面择优取向,所得到的SmCo/Cr薄膜的磁学性能较好。 相似文献
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SmCo/Cr薄膜中Cr底层最佳溅射条件的正交设计研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在SmCo/Cr薄膜中,Cr底层的取向结构对薄膜的磁学性能有很大的影响。设计了4因素3水平的正交实验L9(3^4),并通过数理统计的方法分析了Cr底层的溅射参数对SmCo/Cr薄膜矫顽力的影响。用较少的实验得到Cr底层的最佳实验条件:靶基距为4cm,功率为50w,溅射气压为0.5Pa,溅射时间为9min。并发现了靶基距、功率和溅射气压对薄膜矫顽力的影响较大,其中靶基距是薄膜矫顽力最主要的控制因素。而溅射时间在所取的水平上对薄膜矫顽力的影响最小。本实验设计可达到95%的置信度。 相似文献
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采用交换、静态耦合多层膜超磁分辨方法可以超越光学极限实现高密度磁光记录。本文系统地讨论了前孔探测磁超分辨、后孔探测磁超分辨、中孔探测磁超分辨和双罩探测磁超分辨的应用原理和发展前景 相似文献