计量光栅制造综述

计量光栅作为一种重要的传感器件,广泛应用于工业生产的诸多领域。系统介绍了计量光栅的种类,重点介绍了国内外光栅制造的主要方法、光栅复制工艺以及衡量光栅质量的基本指标和检测方法。     

计量光栅衍射性能测试

本文介绍一种测定计量光栅衍射性能的装置和测定的数据,比较了理论值和实测值,并讨论了产生误差的原因。     

立体光刻成型技术进展

阐述了立体光刻成型技术的原理、所需设备、光固化胶性能、零件特征等，并对美国、日本等国家的状况作了介绍和评论。     

光谱法测试长光栅性能

阐述了利用数字式光度计，对长光栅衍射的各级次能量进行测试的方法，研究了光栅各次信号的大小、有否缺级，以及有用信号的占有比重等问题。通过对长光栅整个行程的测试，清楚地了解了整根光栅使用时的信号波动情况，为更好地利用长光栅提供了有用的参考数据。     

定量光敏荧光技术在牙齿龋病诊断中的应用

定量光敏荧光(QLF)技术是近年来发展起来的一种新的检测方法,与以往传统的龋病诊断方法不同,它不仅可以发现早期龋损并使其定量化,还可纵向监视早期继发龋的发展。现就一些传统的牙科诊断方法和目前备受关注的QLF检测法作一简单介绍,涉及其原理、系统结构、检测影响因素等方面。     

圆光栅直径误差数字化自动检测

本文在数字化莫尔条纹轮廓采集和微处理机数字处理基础上提出了一种新的圆光栅直径误差检测方法,从而实现圆光栅的自动化快速检测,以软件功能代替了一些原来由人工、机构、硬件等部分所完成的工作。在数据平差处理意义下实现了信号质量的改善和高精度信号二次细分及鉴相,信号鉴相基准选在信号平均幅值处,由于信号的数字化,鉴相基准得以在幅值平差平均下跟踪。圆光栅的直径位置定位由CTC定时计数来完成,圆光栅偏心用对径鉴相值相叠加来克服。另外由于软件的灵活性,此方法通用性较强。这种数字化方法的采用还有利于圆光栅多个指标的同时检测。     

光刻机的分辨率和对准特性研究

本文以PLA－501F光刻机为例,研究如何使光刻机的分辨率和对准精度得到充分发挥。指出了光源、光刻胶、滤光片和主物镜的相互匹配是充分发挥光刻机分辨率的关键问题;在提高光刻工件的对准精度方面,牵涉到母板的套准图形设计及对准时的技巧。本文还分析了接近式曝光和接触式曝光的主要优缺点。     

光学低通滤波器的结构设计分析

为了设计一个较为理想的光学低通滤波器(OLPF),在分析双折射晶体的光学特性基础上,运用光学传递函数方法对各种结构的OLPF进行分析,给出了各种结构的幅频特性曲线。分析表明,晶片厚度决定滤波器的截止频率,因此采用多片式OLPF的设计可以加强滤波器对高频部分的频谱响应,从而形成较为理想的光学低通滤波器。     

二维水晶光学低通滤波器的研制

为了有效抑制高于影像传感器的采样频率而出现的莫尔条纹,研制了一种二维水晶光学低通滤波器(OLPF).其主要由2片双折射晶体平板和1片波片构成三明治结构,并在前、后表面分别镀上红外截止膜和增透膜.对所研制的二维水晶OLPF进行了实验测试,接触角小于20°,在可见光部分的透过率大于90%,红外部分则低于2%,空间频率测试表明对莫尔条纹有良好的抑制效果.结果表明,所研制的水晶二维OLPF具有很高的自洁净性,与后端的影像传感器匹配良好,对空间高频有较强的抑制作用,且能很好地截止红外干扰.     

虹膜识别中的采集系统研究

介绍了虹膜识别系统中的识别方法及相应的采集系统设计；系统设计中采用新型CMOS成像芯片成像、光学低通滤波器滤波和自对准、红外照明、防Xuan光等无侵犯性设计；文章详细介绍了相关器件及系统参数设计，并给出运用此系统所进行的的虹膜识别对比实验结果。该系统设计具有一定的参考价值。