圆光栅均匀性误差研究

圆光栅均匀性误差是圆光栅质量的重要指标之一,本文详细论述了圆光栅均匀性误差,并且提出了几种减小或消除这一误差的措施。     

提高梳状一维PSD性能的研究

梳状一维位置敏感探测器是一种高精度的位置敏感探测器PSD(Position Sensitive Detector).反向击穿电压是PSD器件的关键性能参数之一,目前国内的此类产品普遍存在反向击穿电压较低.为了改善PSD的技术性能,详细分析了梳状一维PSD反向击穿电压低的原因,并提出了几条有效的改进措施.     

离子束刻蚀计量光栅的衍射现象

介绍了计量光栅经离子束刻蚀后的衍射现象,实测了刻蚀表面的形貌特征,还对这种衍射现象进行了讨论。     

利用Lau效应测量透镜焦距

本文介绍了利用Lau效应测量透镜焦距的方法,给出了实验原理图、计算公式以及实验数据,并提出了提高测量精度的途径。文中对Lau效应中的公式Z_0=α/β·Ρ~2/λ的系数α/β进行了探讨。认为α/β既可为其它作者所推荐的正的既约有理数,(在某些情况下)也可为任意小数,并且在该条件下尚可得到较好的满足测量要求对比的条纹。     

基于双光栅的平行度检测

为了对大型目标的平行度进行测量,设计并搭建了一套由双衍射光栅组成的平行度检测系统。采用两块衍射光栅正交组成光路,产生多条平行线作为基准线。通过照相机对参考线和待测目标进行拍照,对获得的图像进行处理,利用参考线的平行度偏差对目标所在平面的倾斜进行矫正,得到待测物的平行度测量结果。测量结果表明这种方法简单准确,满足测量精度高。     

高温热氧化中SiO2层厚度的控制研究

本文介绍了Si热氧化的工艺过程和温度曲线,对热氧化生成的SiO2层厚度进行了理论计算和实际测定;并列出了７个ＳiO2样品的干,湿氧时间,理论计算值,实测值及产生的误差值,多数样件可控制在１５％左右（最优达７０％）;介绍了控制干,湿氧不相互干扰的管路系统,稳定水浴湿度９５℃的方法,分析了影响ＳiO2层厚度的石英管口径及氧气流量等因素。     

物镜鉴别率对比测试研究

本文介绍了自行设计研制的目视鉴别率测试仪及其光路图和鉴别率图案,着重介绍用该仪器与在光具座和传递函数仪上的对比测试,被测试的物镜,在３种仪器上被测时偏心较大,然后该物镜进行重新装配,校正中心,又一一测试数据,最后给出初测和复测对比测试数据,用３种方法测出的物镜的数据,在判定物镜优劣性能时甚为一致。     

莫尔条纹的光学原理

一、莫尔条纹的形成1.概述当二块周期为P=f(x)的光栅面对面叠合、并使栅线以微小角度0交叉时,在交叉角的角平分线上便出现周期为MP的亮度变化花样,通常叫做莫尔花样。光栅为等间隔时,莫尔花样的等亮度线为一直线并与交叉角的角平分线垂直;随着光栅之间(沿X方向)的相对位移,等亮度线则沿着角平分线移动,这便是典型的横向莫尔条纹(见图1)。莫尔条纹的形成原理可有不同解释:一     

位置敏感探测器(PSD)的进展

阐述了 PSD 的主要特性及其进展,文中的商业产品参数,来自于1997年日本滨松光子学公司的一维和二维 PSD 的技术数据。PSD 的研制品中介绍了非晶硅薄膜 PSD 结构和主要光学、电学特性;介绍了多条形 PSD 结构及位置分辨率等性能指标;最后还叙述了大面积二维 PSD 及 MOS 型一维 PSD 等的性能和参数。     

网板母板的制造工艺和网板机床——日本网板公司的有关网板母板工艺

一、引言由于我国从日本引进网板制造设备,因而,日本网板公司于78年12月底来华进行技术座谈和商务谈判,本文根据技术座谈整理而成。目前,在彩色电视和存储管中都要应用到网板,在计测变形等工作中也用到网板,一般网板是由互相垂直的栅线所组成,有的就称为格栅,但也有的称为光栅。在彩色电视中只用到一个方向的光栅线,且是不等分的,其专门名词叫“影罩”,应用的另件是铜的或是镍的栅线,它们的母板是玻璃的。这篇文章就是涉及玻璃母板的制造和制造的关键设备——网板刻划机。