BSRF上的微细塑铸研究

利用北京同步辐射装置(BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法.结果表明采用自制模压装置,采用排气法可以获得与真空模压相近的效果;真空模压在这四种方法中具有最好的精度,但若不进行工艺参数优化,也会导致变形等问题.     

BSRF上的微细塑铸研究

利用北京同步辐射装置(BSRF)上的UGA技术制作了镍模具，试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法。结果表明采用自制模压装置，采用排气法可以获得与真空模压相近的效果；真空模压在这四种方法中具有最好的精度，但若不进行工艺参数优化，也会导致变形等问题。     

一种微细EDM电极的制造方法

针对微细EDM异形电极的加工难题，提出了利用同步辐射深度光刻和电铸技术相结合制造EDM电极的方法，可望较好地解决异形电极的制造问题。     

利用LIGA技术研制超微步进电机

文章概述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镜照片等。该电机的转子和定子由LIGA技术制造完成,线圈由手工在显微镜下绕制完成,转子直径2mm,整个电机径5mm。