LSMCD技术制备PLT铁电薄膜的退火工艺研究

液态源雾化化学沉积(LSMCD)技术自1992年问世以来就引起了各国科学家的广泛关注。目前，已成功制备出了多种铁电薄膜。该文系统的分析了采用LSMCD技术制备PLT铁电薄膜在退火温度和退火方式的选择对其相结构的影响，在保证PbO不挥发的情况下，退火温度越高，薄膜的结晶越好；采用混合热处理(RCA)制备的薄膜晶粒尺寸较大，形成了连续致密的薄膜，而快速热处理(RTA)虽可以消除焦绿石相，但薄膜晶粒较小。