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一种用于淀积铁磁膜的新型磁控靶研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文给出了一种新型铁磁靶设计方法,并用设计的DC磁控靶成功地制备出了用于磁头的FeSiAl合金薄膜,性能分析表明用该靶制备的膜可满足MIG磁头的指标。 相似文献
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采用磁控共溅射法制备FeGaB合金薄膜,FeGa靶的溅射功率为40 W,通过调整B靶的溅射功率来调控薄膜的成分.结果表明,制备出的FeGaB薄膜厚度均匀,呈非晶态,具有较小的矫顽力和较大的磁致伸缩系数.当B靶的射频溅射功率大于30 W时,薄膜的矫顽力Hc降低到2.1 Oe左右.B靶溅射功率增大时,B元素的含量增大,FeGaB薄膜的磁致伸缩系数先增大后减小.当溅射功率为40 W时、B元素含量为11.9%,FeGaB薄膜的磁致伸缩系数达到64 ppm. 相似文献
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