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分析了新型片状固态磷平面扩散源(PDS)的掺杂机理,并与液态POCl3源扩散进行了比较,指出可用片状固态磷PDS来替代POCl3实现磷扩散工艺的预沉积。基于PDS预沉积的实验结果,分析了影响方块电阻大小及其均匀性的关键因素,给出了工艺方案,并通过实际产品的电学参数测量结果验证了工艺方案的可行性,可供新型片状磷PDS在大直径硅扩散工艺中的推广使用参考。 相似文献
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刘永祥 《建筑·建材·装饰》2009,10(6)
1 引言
近年来,复合地基的形式越来越多样化,从单一桩型发展到多种桩型组合.长短桩复合地基便是一种有良好应用前景的新的基础形式,但其设计理论尚不完善.本文从长短桩复合地基的受力机理及其变化规律人手,完善了长短桩复合地基承载力计算方法,并对长短桩复合地基的安全系数进行了修正,以供工程设计参考. 相似文献