表面形貌与位置对激光位移传感器接收光强的影响

根据被测物体表面反射模型，从理论上分析了表面形貌及其位置对激光位移传感器物镜接收光功率的影响。通过计算机模拟的方法，优化了传感器的入射角     

长距离高精度激光准直技术的最新发展

激光准直技术已广泛应用于大型工件直线度、同轴度、平面度等形位误差的测量.本论文主要介绍近年来激光准直技术的最新发展,如反馈控制法、无衍射光莫尔条纹法等.这些激光准直技术从理论到实践都较好地克服了激光漂移、大气环境对激光准直的影响,较好地满足了长距离高精度形位误差测量的要求.     

提高激光准直精度的途径

在激光准直高精度直线度测量中，激光漂移是影响其测量精度的主要因素。激光光线漂移分为光漂、光线弯曲和随机抖动三种类型，针对不同的产生漂移的原因，需采取适当的补偿方法来解决激光漂移问题，提高激光准直测量精度。本文对不同类型提高激光准直精度的方法进行了归纳，并分析了各方法的优缺点。     

背景光对四象限探测器干扰的研究

给出了四象限探测器(QD) 光电探测原理,从理论上详细分析了背景光干扰下对位置探测精度的影响,得出位置误差与测量位置存在线性关系、与信噪比几乎存在反比关系,并用实验验证了分析结果。最后提出了减小背景光影响的几种措施。本文为估算由此造成的定位误差提供了理论依据。     

激光六维参数同时测量的数学模型

六维参数同时测量一直是机床导轨检测中的一个难题。基于激光准直和干涉技术，提出一种以单光束为基准，同时测量机床导轨六维参数的系统数学模型。论证了所提出系统模型的可行性。通过对各维测量参数详细的理论分析，结果表明系统可以实现误差分离，且三维角度分辨率小于0．2＂，线位移分辨率优于0．3μm。整个系统结构简单，具有移动部分不带电缆的优点，从而消除了移动测头带电缆给测量带来的不便和附加误差。其结论为系统设计提供了理论参考依据。     

五维信息同时测量的激光方法

发展同时测量多维信息的激光系统是计量和工业等许多领域普遍提出并有待发展的技术问题。介绍了国内外现有激光五维信息同时测量系统,分析了其优缺点,给出了其发展趋势。     

基于BSO晶体反射式全息光栅的振动测量系统

以光折变晶体硅酸铋(BSO)为记录介质,构建了基于反射式全息光栅零差干涉振动测量系统。系统中的参考光与被振动信号调制的信号光以反射式记录全息的方式射入BSO晶体,在晶体内干涉形成反射式动态全息并实时衍射,通过对信号光的透射光和参考光的衍射光所形成的干涉信号进行解调即可得到所测的振动信号。研究了两入射光束夹角、光强比、晶体晶向等测量条件对系统测量灵敏度的影响,分析了耦合增益与测量灵敏度的关系。结果表明,以压电陶瓷(PZT)为被测对象时,系统最高可探测到频率为360kHz的振动信号。分析显示:由于反射式全息降低了布拉格光栅的空间周期,提高了入射晶体的信号光和参考光的耦合效率,故其测量灵敏度高于透射式全息光栅振动测量系统。     

高精度双波长非接触光纤高温计的波长最优设计

对实用化的高精度非接触式双波长光纤高温计的工作波长及其带宽进行了最优化设计,获得了良好的效果。在测试范围６００～１３６０℃内,测温灵敏度达到０．１℃,精度为０．５℃。     

偏振调制的光纤温度传感器补偿结构的进一步分析

对原提出的偏振调制的光纤温度传感器补偿结构作了改进。进一步分析了这一结构的补偿效果,并设计了相应的实验进行验证。证明了这一补偿结构可以提高测量的精度和长期稳定性     

同时测量物体六自由度的方法

对目前国内外发展的同时测量物体六自由度的方法进行了较为详细的介绍,并给出了每种测量原理和发展现状,比较了各种方法的优缺点,讨论了其发展趋势。