优化抗蚀剂的预烘工艺减小衍射对X射线光刻的影响

讨论了衍射效应在微米 /纳米X射线光刻中对分辨率的影响和抗蚀剂的预烘温度与其衬度的关系。分析发现增加抗蚀剂的衬度能有效地提高工艺的容裕度 ,减小衍射作用。实验表明 ,在预烘温度为 170℃时 ,正性抗蚀剂PMMA有最高的衬度为 4 46 ,负性抗蚀剂PN 114在预烘温度为 115℃时有最高的衬度为 8 40。给出了最佳预烘温度下使用两种抗蚀剂的X射线光刻的实验结果     

同步辐射X射线荧光分析中和峰的测量与计算

同步辐射X射线荧光分析中和峰的测量与计算@康士秀$中国科技大学天文与应用物理系!合肥市230026 @胡传胜$中国科技大学天文与应用物理系!合肥市230026 @康怀志$密执安大学药学院医药化学系!美国密执安州48109-1065 @黄宇营$中国科学院高能物理研究所!北京市玉泉路100039~~~~~~     

安徽琅琊山铜矿植物和土壤重元素同步辐射X射线荧光分析

利用同步辐射 X射线荧光分析方法研究了生长在金属矿山上的植物体内重元素的组成与含量 ,以及植物对重元素的富集特性。对采自安徽琅琊山铜矿的梓木草 (Lithospermum Erythrorhizon)和山慈菇(Tulipa Edulis) 2种植物的重元素分析结果表明 ,在锌木草各营养器官之间 ,各种重元素的分布极不均匀 ,Mn、Fe、Cu、Zn等主要富集在多年生根中。山慈菇叶片中的重元素的含量 ,比其他地方的同种植物较高。与一般植物体内重元素检测方法相比 (如火焰原子吸收光谱法 ) ,该法的灵敏度高 ,样品处理简便。     

相位切趾波带片的设计

本文叙述了菲涅耳波带片和相位波带片的基本理论。对相位波带片选用的材料和厚度与效率的关系进行了计算和分析。对选用切趾波带片能增大带宽、提高信噪比作了讨论。我们设计了用于高分辨率扫描软X 射线显微镜的聚焦微波带片,它是一个总环数为116、遮挡环数为30、空间分辨率为0.2μm、在23～45(?)波长范围内一级衍射效率达16～19%的Cu 材料相位切趾波带片。     

南极乔治王岛上一些植物的同步辐射X射线荧光分析

用同步辐射X射线荧光分析方法,在无标准样品的条件下,对南极乔治王岛苔藓、藻类及地衣植物的元素吸收和分布规律及特点进行了研究.发现不同植物种类对元素的吸收能力不同;同一种植物中不同器官的分布也不同,这十分有助于了解利用植物对南极环境检测的能力,并对其进行初步筛选.     

ESR膜及在POLAR探测器中的应用

基于巨双折射光学的增强型镜面反射膜(ESR)具有高分子多层膜结构。在10~80°反射角范围内,利用623.8nm,532nm,441.6nm和413.1nm激光对ESR的反射率进行了测量,结果显示,在整个范围内有较均匀的反射率,平均反射率大于95%,平均透过率小于0.5%。XRD分析显示ESR在大尺度范围内有良好的晶化结构。在γ射线极化仪POLAR应用中,ESR作为BC448塑料闪烁体探测器反射层比用黑漆反射层的光子收集效率提高了近10倍。     

汞原子的激发电位和电离电位的测定——数据处理

根据KD——WO2型《F—H实验装置》所测的汞的激发电位与电离电位曲线,在求取汞的激发电位和电离电位时,使用适当的数据处理方法,可以获得满意的结果。这是因为实验中各种物理因素对实验结果的影响是举足轻重的,我们不得不予以考虑。诸如弹性碰撞损失,接触电位和空间电荷电场的屏蔽作用,使所测汞的激发电位曲线的第一个峰可向右偏移     

X射线微光刻的常规X射线光源实现方法

叙述了利用固体靶X射线光源实现X射线微光刻的方法,给出了X射线掩膜、抗蚀剂及X射线曝光的工艺过程和实验结果.     

电子束和X射线双曝光制作大高宽比高分辨率的X射线波带片

介绍了利用电子束和 X射线束双曝光技术制作大高宽比高分辨率的 X射线聚焦或色散元件的新方法 (波长范围为 1～ 5 nm )。所制做的厚度为 10μm的 Au波带片具有 30个波带 ,最外环的宽度为 0 .5μm。实验表明 :对 8ke V的X射线来说 ,波带片的衬度大于 10 ,分辨率为 0 .5 5μm,焦距为 2 1.3cm。     

用于铁磁共振的扫场电源

叙述了一种新型的适于用记录仪记录输出信号的铁共振扫场电源,其结构简单,调试容易,复用性好,在电压0－150V,最大电流0.5A,周期5. 5 s,负载阻抗33Ω时,线性优于95％。同时还可用作其它实验中要求的长周期、大功率扫描电源。