改进型Ge浓缩技术制备SGOI及其机理

对Ge浓缩技术进行改进，通过对Si/SiGe/Si三明治结构氧化退火，成功制备了Ge含量高达18%的SGOI材料. 实验结果表明：顶层的Si可以有效抑制SiGe层氧化初期Ge元素的损失，退火过程有助于Ge元素在SiGe层中的均匀分布，同时也减轻了Ge元素在氧化层下的聚集. 在高温条件（1150℃）下制备的SGOI材料应力完全释放，几乎没有引入位错.     

基于低温键合技术制备SOI材料

通过N+等离子体对Si片以及SiO2片表面活化,进行直接键合,研究了键合强度与退火温度的关系.研究结果表明退火温度从100℃升高到300℃的过程中,键合强度明显加强;高于300℃,键合强度略有增加,但不明显.结合N+等离子体处理技术和Smart-Cut技术制备出SOI结构,顶层硅缺陷密度表征表明在500℃退火后可得到较好的缺陷密度.该研究结果提供了一种SOI低温技术.     

一种新型复合磨料对铜的化学机械抛光研究

磨料是化学机械抛光(CMP)中重要的组成部分,是决定抛光平坦化的重要影响因素.采用两步法制备了新型的氧化硅包覆聚苯乙烯(PS)核壳型复合磨料,采用扫描电子显微镜( SEM)、透射电子显微镜(TEM),X射线能量色散谱(EDX)等对复合磨料进行了表征.结果表明所制备的复合磨料具有核壳结构,且表面光滑.随后复合磨料对比硅溶...     

气相色谱-质谱法分析固井水泥浆添加剂中磷酸三丁酯

采用气相色谱-质谱法测定固井水泥浆添加剂中磷酸三丁酯(TBP)的含量。选择m/z=99、155和211的麦氏重排离子为特征离子。TBP在0.20g/L~5.13g/L含量范围内,其特征离子丰度与含量呈线性关系,线性方程为:Y=1.05×107 X+1.75×105,相关系数γ2=0.999,方法检出限(S/N=3)0.000073g/L,定量限(S/N=10)0.00024g/L,平均回收率为106.2%~109.2,相对标准偏差为0.36%~1.70%(n=6)。实际应用表明:该方法适用于油田固井水泥浆添加剂中磷酸三丁酯的质控分析。     

多孔硅外延转移技术制备以氮化硅为绝缘埋层的SOI新结构

为减少自加热效应,利用多孔硅外延转移技术成功地制备出一种以氮化硅为埋层的SOI新结构.高分辨率透射电镜和扩展电阻测试结果表明得到的SOI新结构具有很好的结构和电学性能,退火后的氮化硅埋层为非晶结构.     

三维相变存储阵列驱动二极管的制备研究

结合新一代高集成度三维集成电路和新型相变存储技术,以三维相变存储单元阵列的实现为目标,进行了用于存储单元的驱动和开关作用的二极管阵列的制备实验。在借助低温等离子体活化键合技术获得了良好的键合界面之后,利用智能剥离法成功转移了单晶PN结二极管层到含有金属W电极阵列的基片上,并制备了垂直二极管阵列。经过聚焦离子束加工和电镜观察得知基片上小型W电极与转移来的PN结构Si层接触良好,测试得到了标准的二极管特性曲线,开关比达到4个数量级。不过实验制备的二极管漏电流较大,开关比偏低,这些问题还需要在将来实验环境的改进和工艺的优化中得到解决。     

大庆外围低渗透储层裂缝与地应力研究

采用野外露头、岩心描述、裂缝磁定向等方法研究低渗透油田不同类型裂缝的发育程度、影响因素及其对储层的渗流响应。综合应用差应变、波速各向异性岩心应力测试技术和测井解释技术,结合有限元模拟技术和现场微地震监测等手段对地应力分布进行描述,并对大庆油田地应力类型及分布规律进行系统研究。同时,在地应力及裂缝对油田注水开发中的作用方面进行了深入探讨。     

采用波长扫描外差式干涉仪进行高精度长度测量的方法

采用光学干涉仪准确地测量长度是非常容易的。然而,如果没有一个用来计算干涉条纹的运动装置,单频干涉仪的测量范围就被限制于小于半波长。为了解决这个问题,已经研究出一种频率扫描方法。它的相位分辨率不是太高,不过于涉条纹级次的整数部分可以确定下来。我们建议使用一种能够准确地测量长度的方法,那就是将高分辨率的相位测量技术和频率扫描技术相结合。这里使用一台频率扫描外差式干涉仪对这个方法进行研究。使用宽带频率扫描方法,结合外差相位测量,我们可以得到优于四分之一波长的高分辨率。这就意味着,我们测量绝对长度的精度达到纳米级,因为通过频率扫描可以确定条纹干涉级次的整数部分。测量距离在4mm时精度达到3mm。     

原子荧光法测定2015年度苏州市地表水中的汞和砷

[目的]探究2015年度苏州市地表水中汞和砷的含量.[方法]用原子荧光法测定4个水质标准物质(汞:GSBZ 50016-90(202034,202036);砷:GSBZ 50004-88(200437,200438))和16个地表水样品(样品l～16)的汞和砷的含量.[结果]由测试结果可得,仪器的检出限、精密度、准确度和样品的回收率均能满足地表水的检测要求.[结论]标准样品的测量结果表明该仪器的精密度和准确度均符合要求,可以用来测定地表水中的汞和砷.抽取的四个季度16个样品的测量结果表明,在2015年度苏州市地表水中汞砷的含量符合要求,没有受到汞、砷的污染.     

氧化铝抛光液磨料制备及其稳定性研究进展

介绍了氧化铝磨料在化学机械抛光中的应用,总结了氧化铝抛光液磨料制备方法。根据氧化铝抛光液在应用中存在的问题,着重阐述提高氧化铝抛光液分散性和稳定性的方法。在分析氧化铝抛光液应用的基础上,提出蓝宝石衬底抛光液将来的发展方向,希望为今后的氧化铝抛光液研究提供一些思路。