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微波ECR—CVD低温SiNx薄膜的氢含量分析 总被引:1,自引:0,他引:1
利用红外光谱技术研究了微波电子回旋共振(ECR)等离子体化学气相沉积(CVD)法在低温条件下制备的SiN。膜的键的结构和氢含量,分析了微波 功率和后处理条件对膜含量的影响及其成因,提出适当提高微波功率是降低微波ECR-CVD低温SiNx膜中氢含量的可能途径。 相似文献
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本文从政策咨询、林权信息发布、资源评估、权属鉴证、林权交易和资金结算等方面,论述了林权交易的途径。林权交易作为集体林权制度改革的延伸与配套改革措施之一。在当前缺乏行业政策规范的情况下,研究和探讨林权交易机构的交易步骤和方法,具有一定的现实意义。 相似文献
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马克思主义与城市问题结合研究的典范——大卫·哈维的《资本的城市化》述评 总被引:3,自引:0,他引:3
新马克思主义城市学派是影响二战后西方社会科学界的一个重要流派,大卫·哈维是其代表人物。在《资本的城市化》中,他将马克思主义理论和方法应用于城市(化)问题,演绎出城市空间组织和结构是资本生产的需要和产物的总结论,揭示了资本主义城市化是资本集聚和阶级斗争矛盾作用的过程的实质,并将其延伸到对整个资本主义政治经济的批判和分析,从而发展了马克思主义的城市理论。该学派理论对忽视马克思主义理论与城市问题之间联系的我国学界尤具借鉴价值。 相似文献
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