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Shi-Jin Ding Hang Hu Lim H.F. Kim S.J. Yu X.F. Chunxiang Zhu Li M.F. Byung Jin Cho Chan D.S.H. Rustagi S.C. Yu M.B. Chin A. Dim-Lee Kwong 《Electron Device Letters, IEEE》2003,24(12):730-732
For the first time, we successfully fabricated and demonstrated high performance metal-insulator-metal (MIM) capacitors with HfO/sub 2/-Al/sub 2/O/sub 3/ laminate dielectric using atomic layer deposition (ALD) technique. Our data indicates that the laminate MIM capacitor can provide high capacitance density of 12.8 fF//spl mu/m/sup 2/ from 10 kHz up to 20 GHz, very low leakage current of 3.2 /spl times/ 10/sup -8/ A/cm/sup 2/ at 3.3 V, small linear voltage coefficient of capacitance of 240 ppm/V together with quadratic one of 1830 ppm/V/sup 2/, temperature coefficient of capacitance of 182 ppm//spl deg/C, and high breakdown field of /spl sim/6 MV/cm as well as promising reliability. As a result, the HfO/sub 2/-Al/sub 2/O/sub 3/ laminate is a very promising candidate for next generation MIM capacitor for radio frequency and mixed signal integrated circuit applications. 相似文献
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深层搅拌桩防渗漏墙技术可靠,工序简单、易于操作和控制,造价低廉,因而在堤防工程建设中得到了广泛的应用。文章简述了该技术的施工过程,并分析了该技术的质量通病,提出了防治措施,得出实际应用效果。 相似文献
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近两年.IP电话又叫网络电话的发展受到全球的关注。随着宽带接入的发展,基于宽带接入提供的网络电话具有了更大的生命力。从宽带电话的经营模式出发,探究这类业务的出现时现有话音业务市场的影响,进而分析这类业务的发展前景。 相似文献
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从稳态到动态的空气调节 总被引:1,自引:0,他引:1
分析传统空调所提供的稳态参数微气候环境不一定能达到人的舒适和健康的要求,提出符合人本身生理习惯的空调送风方式应该是动态空气调节.认为个人可调节和适宜的环境渐变能同时保证舒适和健康两方面需要. 相似文献
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